Array工艺原理及工程检查-CVD分解.ppt

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2017-04-20 发布于湖北
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P-CVD基础;CONTENS;PCVD基础;能量损失因子;CVD (Chemical Vapor Deposition )化学气相沉积借由气体混合物发生的化学反应，包括利用热能、电浆(Plasma)或紫外光照射等方式，在基板表面上(Substrate)表面上沉积一层固态化合物的过程重要观念经由化学反应或热分解薄膜的材料源由外加气体供给制程反应物必须为气相的形式 ;分类;等离子体中的反应;非晶硅的生长原理;PCVD装置构造;To Pump;Gas dissociation and combination;成膜基础;PCVD适用工程;PCVD适用工程;G-SiNx膜的膜质;ａ-Ｓｉ;n+非晶硅;成膜检查项目和目的;成膜检查规格;工程管理技术;工程管理项目;不良项目;不良解析;工艺日常管理项目;工艺维护;工艺维护