亚波长介质偏振分束光栅的衍射特性_赵华君.pdf

　第 20 卷第 10 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo l .20 , No .10 　 　2008 年 10 月 HIGH POWE R LAS ER AND PARTICLE BEAMS Oct ., 2008 　 文章编号 :　1001-4322(2008)10-1629-04 亚波长介质偏振分束光栅的衍射特性 ＊ 赵华君 (重庆文理学院 电子电气工程学院 , 重庆 402160) 　　摘 　要 :　采用严格耦合波理论并 结合矩阵 L U 分解法 , 分析了亚 波长介质光栅的刻槽深度 、占空比 、入射 角 、入射波长等参数对 T E 偏振和 T M 偏振 0 级衍射效率的影响 。 结果表明 :在 1 550 nm 波长处 , 出现 瑞利反 常现象 。 由此提出利用瑞利反常现象设计工作波长为 1 550 nm 的偏振分束光栅 , 通过优化设计确定了 最佳设 计参数 , 即光栅周期为 λ0/ 2, 瑞利入射角为 30°, 刻槽深为 0 .9λ0 , 占空 比为 0 .5 。 结果 表明 , 参数优 化后的 偏振 分束光栅可以使 T E 偏振 0 级 反射波和 T M 偏振 0 级透射波同时达到近 100%的衍射效率 。 　　关键词 :　二元光学 ;　亚波长介质光栅 ;　衍射特性 ;　严格耦合波理论 ;　偏振分束器 ;　瑞利 反常 　　中图分类号 :　O 436.3;　O636 .1 　　　　文献标志码 :　A 　　偏振光分束器是光开关网络 、光存储器 、光环形器 、光隔离器等光学组件中的核心器件 , 在光纤通信 、光学 计算 、图像处理等领域有着广泛的应用[ 1-3] 。传统的偏振光分束器通常由双折射晶体或多层介质膜等具有二向 色性的物质构成 , 这些器件通常体积大 、效率低 , 无法满足光学系统小型化 、集成化和高效化的要求 。 近年来 , 随着电磁理论和微加工技术的深入发展 , 研究人员逐渐发现亚波长光栅(入射波长小于光栅周期)具有优良的 偏振衍射特性[ 1-5] , 可以实现偏振 、分束 、增透 、高反 、窄带滤波等功能 , 且具有体积小 、效率高 、易集成等优点 , 受 到人们的广泛关注 。 　　分析亚波长光栅的衍射问题必须采用严 格矢量衍射理论 , 常用的严 格矢量理论主要有 积分法[ 6] 、微分 法[ 7] 、模式法[ 8] 和耦合波法(RCWA)[ 9-11] 等 。耦合波法也称严格矢量耦合波理论 , 由 M .G .M oharam 于 1981 年提出[ 9] , 目前已广泛应用于分析光栅的衍射问题 。 本文采用严格耦合波法 , 研究了亚波长介质光栅分别对 TE 偏振(电矢量平行于光栅刻槽)和 TM 偏振(电矢量垂直于光栅刻槽)的衍射特性 , 并针对通信系统中广泛 使用的 1 550 nm 波长设计亚波长偏振分束光栅 , 分析了光栅刻槽深度 、占空比(光栅脊宽度与光栅周期的比)、 入射角 、入射波长等参数对衍射效率的影响 , 得出了最佳光栅设计参数 。 1 　理论分析 　　本文采用的亚波长介质偏振分束光栅 , 结构模型如图 1 所 示 。 设平面波以入射角 θ入射 , 并由光栅衍射产