4.14.2电阻应变式传感器选读.ppt

第四章 敏感元件及与传感器技术; 1）传感器的定义 传感器（Transducer/sensor）的定义为：“能感受（或响应）规定的被测量，并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。 目前，传感器转换后的信号大多为电信号。因而从狭义上讲，传感器是把外界输入的非电信号转换成电信号的装置。 ;敏感元件;3） 传感器分类 （1）按被测量分类 机械量：位移、力、力矩、速度、加速度、振动、噪声 … … 热工量：温度、热量、流量、风速、压力（差）、液位 … … 物性参量：浓度、粘度、比重、酸碱度 … … 状态参量：裂纹、缺陷、泄漏、磨损、表面质量… … （2）按测量原理分类 按传感器的工作原理可分为电阻式、电感式、电容式、压电式、光电式、光纤、磁敏式、激光、超声波等传感器。;（3）按信号变???特征分类 结构型：主要是通过传感器结构参量的变化实现信号变换的。例如:电容式和电感式传感器. 物性型：利用敏感元件材料本身物理属性的变化来实现信号变换。例如:水银温度计,压电测力计. （4）按能量关系分类 能量转换型：传感器直接由被测对象输入能量使其工作。例如:热电偶温度计,压电式加速度计.也称有源传感器。 能量控制型：传感器从外部获得能量使其工作，由被测量的变化控制外部供给能量的变化。例如:电阻式、电容式、电感式.也称无源传感器。 ;4.2 电阻式传感器;敏感元件;（1）电阻应变片工作原理：;因此：; 电阻丝应变片; 箔式应变片;一般市售电阻应变片的标准阻值有60、120、350、600、1000欧等，其中120欧应用最多。;优点：灵敏度高，机械滞后小，横向效应小，体积小. 缺点：温度稳定性和可重复性不如金属应变片。;金属电阻应变片;压阻式传感器在20世纪60年代初出现，随着半导体工业和集成电路的迅速发展，目前，已经在航空、宇航、风洞等领域得到广泛应用。 灵敏度高（是金属丝式应变片的50~100倍） ，因此输出信号大，可达200mv左右，有些压力传感器灵敏度高达50mv/MPa，可不用放大器直接驱动记录仪表。 固有频率高，响应快。由于这种传感器小而轻，膜片直径小，机械滞后小，横向效应小，自振频率很高，目前可达500KHz，国外有些公司的产品可达1500KHz; 结构简单，可方便微型化，易于批量生产。由于压阻元件采用半导体集成电路工艺，因此尺寸可以最大限度小型化，目前国内研制的硅压阻元件直径为1mm，国外已有很多外径小于1mm的超小型产品。小尺寸可满足密集安装的要求，并能提供准确的点压力。还可将计算处理电路和传感器集成在一起，制成“智能传感器” 精度高。由于压阻传感器没有一般传感器所具有的传动件、粘接剂，因此非线性和滞后误差都非常小，目前，精度一般为0.1%~0.5%，较高的可达0.01%。 工作可靠，抗振、抗干扰能力强。 ; 电阻和灵敏度系数的热稳定性差，在温度变化大的环境中使用时，必须进行温度补偿，其使用温度范围受到一定的限制，国内都在100℃以下，国外多用于150℃以下，如果采用水冷和温度补偿措施，工作温度可达500℃。 量程小，在测量大应变时，非线性较严重。 系统工艺复杂、要求严格、成本较高。;（2） 电阻式传感器的测量电路 由于机械应变一般都很小，要把微小应变引起的微小电阻值的变化测量出来，同时，要把电阻相对变化 转换为电压或电流的变化，因此，需要设计专用的测量电路，常用桥式测量电路。 该电路目标：提高输出灵敏度、进行温度补偿 ;当 时，电桥的输出电压 应为： 当电桥平衡时， ，由上式可得到 或 称为电桥平衡条件 ;? ;一般情况下， ，化简得到：;为达到完全补偿，需满足下列三个条件： ①互相补偿的应变片须属于同一批号的，即它们的电阻温度系数、线膨胀系数、应变灵敏系数都相同，互补应变片的初始电阻值也要求相同； ② 用于粘贴补偿片的构件和粘贴工作片的试件材料必须相同，