一、项目概况-广饶县经济信息化局.docVIP

先进制造类（36项） YAG激光毛化技术及装备一、项目概况为了生产优质冷轧薄板、优质涂镀板，企业需要对工作轧辊表面进行毛化处理。以往轧辊毛化的方法是喷丸处理，但难以精确控制轧辊表面的形貌和粗糙度，为了解决这一问题，中科院力学所研究所于1994年成功开发出YAG激光毛化轧辊技术及装备，目前该技术已在我国十余家企业得到应用，为企业创造了数十亿元的经济效益，为我国冷轧板带产品水平的提升做出积极的贡献。2007年该技术被评为国家科技发明二等奖。YAG激光毛化技术可以精确控制所加工轧辊表面的形貌和粗糙度，使轧制生产的激光毛面钢板具有优良的冲压成形性能和涂漆光亮度，其塑性变形能力有所改善，明显优于同材质的光面板和喷丸毛面板。激光毛化技术可以在毛化的同时，使激光作用区的材料获得超常硬度，给轧面带来超常的强韧化效果，延长轧辊使用寿命，一般激光毛化辊寿命是普通辊的2～3倍。此外激光毛化加工也可改善轧辊使用性能；由于优化摩擦条件，轧制时不易打滑和粘连，轧制速度可提高一倍以上；消除板卷退火粘结现象；甚至可用激光辊实现异步轧制。YAG激光毛化技术采用特殊声光调制的高重频激光脉冲经光学系统聚焦，对辊面进行均匀扫描，在辊面形成间距稳定的熔凝微坑和凸台，从而完成辊面的均匀毛化。设备具有独特的二维可控无规则毛化分布技术，可实现毛化点菱形、矩形和无规则分布毛化，大大改善了毛化的均匀性。激光毛化工作辊可用于厚0.02~2.0mm钢板的轧制和平整。在热镀锌线生产中，可用于基板轧制和镀锌后光整。二、技术创新点1、YAG激光毛化技术及装备具有高重频激光波形调制技术、二维可控分布毛化技术（及图形刻蚀技术）、全随机分布毛化技术。2、获奖情况 中科院科技进步一等奖（1994）、“八五” 国家科技攻关重大成果奖（1996）、“八五”、“九五”国家技术创新优秀奖（1997，2001）、中国专利发明创造金奖（1997）3、装备主要配置：（1）毛化机床：主轴变频调速，X、Z向为伺服电机调速，有辊型自动跟踪系统，实现等光程毛化，可自动、手动操作。（2）总控系统：可控毛化分布软件对轧辊可进行可控分布（如菱形、矩形、随机分布），总控工控机对机床、激光器系统、水路、气路、毛化过程统一控制，有多种监测保护功能。（3）实时监测系统：对光、电、水温、气压有连续监测功能。（4）安全系统：装备采用全封闭光路，激光不会散射外漏，保证人身安全。三、主要应用范围钢铁、有色冶金的精密带钢、特种带钢、冷轧薄板、铝板箔、镀锌板、不锈钢带。还有新型亚光铝板箔生产（厚：0.01-1.0mm）、亚光不锈钢板带；光亮铝板、不锈钢板、隐形花纹板；热轧辊毛化-强化开发；军工重要部件镀铬层强化；内燃机及重载摩擦部件表面减摩擦；印刷包装业大型陶瓷网纹辊精密刻蚀；面粉生产线磨辊毛化。四、应用案例YAG激光毛化技术在1992年首次应用于龙腾精密带钢公司，提高产品成材率30%以上，使该公司四个月扭亏为盈。1994年10月，我国首台YAG激光毛化冷轧辊装备在天津市冷轧薄板厂投入生产应用，1995年实现全厂人均创汇2.7万美元。该台装备稳定运行13年，生产优质毛化板175万吨，实现销售收入67亿元，世界上首次实现YAG激光毛化技术成功用于规模生产。至2006年底，已有10台生产装备和2台试验装备在工厂生产运行，2004～2006年，根据已有的工厂证明，生产激光毛化的板和精密带钢93.03万吨，新增产值40.97亿元，新增利税1.444亿元。MOCVD材料生长重大装备项目一、项目概况MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition）材料生长装备，即金属有机物化学气相沉积设备，是化合物半导体外延材料研究和生产的关键设备，特别适合化物半导体功能结构材料的规模化生产，是其它半导体设备所无法替代的核心半导体装备，是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段，是当今信息产业发展、国防高新技术突破不可缺少的战略性高技术半导体设备。我国“十一五”期间约需新增LED芯片产能96亿只/年，需新增MOCVD设备至少50台（按19片机规模），设备投入将达到8000- 10000万美元规模，甚至突破1亿美元。半导体所在国家“863”计划等项目的支持下，系统地开展了MOCVD生长室、原料输运、电路控制等方面的设计与技术研究工作，成功研制出了具有自主知识产权的可一次生长3片2英寸外延片的研发型MOCVD设备样机，实现了衬底机座的公转/自传独立调节、具有低成本的新型原料配送结构等功能，并生产出性能优良的氮化镓基材料。目前具有新颖结构设计、独立自主知识产权的新型6片型MOCVD系统原型机即将研制成功并投入使用，为国产化MOCVD设备产业化发展奠定了坚实基础。二、项目意义MOCVD设备作为