衬底基片精密加工过程中宏观质量控制.pdfVIP

第9期 机械 设计 与制造 2010年 9月 Machinery Design Manufacture 259 文章编号：1001—3997(2010)09—0259—03 衬底基片精密 -r．过程中宏观质量控制 永 周 海 白立刚 l1 赵梓皓 1,2 王黛萍 (盐城工学院 机械工程学院，盐城 224051)(江苏大学 机械工程学院，镇江 212013) MacroqualitycontroIonultra—precisionmachiningofsubstrates ZHOUHai．BAILi—gang1,2ZHAOZi—hao1,2WANGDai—ping (YanchengZnstituteofTechnology，SchoolofMechanicalEngineering，YanCheng224051，China) (MechanicalEngineeringZnstitute，JiangSuUniversity，ZhenJiang212013，China) 驴 驴 、 ≯ 矿 、矿 、扩 、护 、 、 、口、 《、 、 《 、扩 《 、 驴 、 、 、 、 、 、 、 驴 ≯、 、扩 、驴 、 P、 、 《 、 、移 、 矿 、 、 、 、d 《扎 【摘 要】衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等。在分析衬底基片精密加工工 艺基础上，得出影响宏观质量的因素有：晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、抛光液的 成份。提出采用线切割、真空粘盘，提高坯料的平整度。采用预h_z-保护倒角、嵌入式行星保持架，防止抛 光崩边。根据不同的衬底基片选择合适的抛光垫，配置专用化学机械抛光液，使得衬底基片化学反应速度 与机械去除速度协调。从而有效控制衬底基片的宏观质量。实现了衬底基片表面完整、翘曲度小于5微 米、厚度误差小于3微米。 关键词：衬底基片；表面完整性；翘 曲度 ；化学机械抛光 A【bstract】Macro—qualityofthesubstrateincludestheshapeintegrity，warp，accuracy．Basedonthe analysisofprocessingofsubstrates，thefactorsthataffectthequalityofmacroqualityincludewarerslicing method，stickymethod，e@ecollpase，SU~acestress，slurrycomposition．Theflatnesshasbeenimprovedby wirecuttingandstickvacuum．Thecollpaseofe@ehasbeenpreventedbypre-processingtoprotect chamfer，embeddedplanetcage．Polishingpadhasbeenselectedaccordingtosubstrate．Configuration spec cCMPfluidmakesthesubstratechemicalreactionspeedandmechanicalremovalratetocoordi— note．Themacro—qualityof thesubstratehasbeeneffectivelycontrolled．Warpislessthan5microns． Thicknesserrorislessthan4microns． Keywords：Substrate；Surfaceintegrity；W arp；Chemicalmechanicalpolishing 中图分类号 ：TH161，TN205 文献标识码 ：A 氮化镓 (GaN)基半导体l】人类 目前所发现的最重要的新型 生长，该工艺对衬