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维普资讯 集成化微型六维力 ／力矩传感器的研制 ★ 口 姜 力 口 王嘉力 口 刘 宏 哈尔滨工业大学 机器人研究所 哈尔滨 150001 摘 要：弹性敏感元件是应变式多维力传感器的核心，弹性体机械加工和应变片粘贴的误差成为影响微型多维力传 感器测量精度的重要因素。为此设计 由一体化结构的弹性体和单片组合式应变片组成的新型弹性敏感元件 ，弹性体结构 简单，机械加工和应变片粘贴精度高。基于DSP的传感器信号处理和智能化电路放置在传感器本体内部，使传感器具有集 成化、智能化和微型化的特点。 关键词 ：六维力传感器 敏感元件 集成化 中图分类号：TP212．12 文献标识码 ：A 文章编号：1000—4998(2008)07—0014—02 弹性体具有结构简单 、易 1 概述 于加 512、加 工精 度 容易保 在 机 器 人 领 域 ，多维 力 ／力矩 传 感 器用 来 检 测 机 证等 优点 。图中 ，O—XYZ 器人末端操作器接触或抓取工件 时所承受 的力和力 为传感器坐标系 ，在薄壁 矩 ，为机器人 的力控制和柔顺控制提供力感信息 ，从而 圆筒上取一个单元体 ，在 完成一些复杂 、精细 的作业 ，是提高机器人智能化水平 六 维 力 (或 力矩 )作 用 下 和作业水平 的重要部件 ¨～1。随着微 小型机器人及其 的应 变情况表 示如下 。 灵 巧手 用于 医疗 的最 小 阵痛手 术 以来 ，对微 型六维 力 1)在 作 用 下 ，产 传感器提 出了迫切 的需求 。由于体积很小 ，微 型多维力 生 的正应 力 和 剪 应 传感器 的弹性敏感元件在设计 、应变片粘贴 、信号处理 力 ．r 为 ： 和解耦等方面面 临更严 峻的挑 战 1。 n=—— 一， = (‘l1J) 在弹性敏感元件方面 。对于应变式传感器 ，弹性体 2)在 作用下 ，产生 的正应力 竹和剪应力 ．r 结构是影 响传感器性 能指标 的关键 因素 。目前 ，多维力 为 ： 传感器广泛采用 的十字梁 结构和 Stewart平 台结构 比 较 复杂 ，机 械加工 精度 难 以保 证 ；应 变片 的粘贴难 度较 矸 = 一 = 矸—■一，矸 ；而 c22【J 大 ，效率较低 ，难 以达 到很高 的应变 片粘贴位置精度 ， 3)在 作用下 ，产生 的正应力 为 ： 这些 因素成为提高微 型多维力 传感器测量精度 的瓶 = (M．／ )sin0 (3) 颈 。 4)在 鸩 作用下 ，产生 的正应力 为 ： 针对这个 问题 ，本文研制 了一种新 型 的集成化微 晰=r鸩 ／ )cos0 (4) 型六维力传感器 ，它采用一体化结构 的弹性体