多重网格法求解微机械谐振器的挤压膜阻尼.pdfVIP

· 机械制造与研究 · 黄善敏，等 ·多重网格法求解微机械谐振器的挤压膜阻尼 多重网格法求解微机械谐振器的挤压膜阻尼 黄善敏，李普 (东南大学 机械工程学院，江苏 南京211189) 摘 要：针对求解MEMS挤压膜阻尼过程中存在的问题，采用了多重网格方法进行，求解，与传 统方法相比，应用于挤压膜中流体问题的求解具有收敛速度快，数值稳定性好的优点，求得了 谐振器平板间的压力分布函数以及微谐振器的各个性能指标的值，研究了挤压膜中流体阻尼 力的特性以及与谐振器件幅一频特性的关系。 关键词 ：微谐振器；挤压膜阻尼；多重网格方法 中图分类号：TH12 文献标志码：A 文章编号2010)02-0039-04 MultigridMethodtoSolveSqueezeFilm DampingofM icro—resonantor HUANG Shah-min，LIPu (SchoolofMechanicalEngineering，SoutheastUniversity，Nanjing211189，China) Abstract：Inviewoftheproblemsexistingintheprocessofsolvingsqueezefilm damping，thispaperusesthemultigridmethodto solvethesqueezefilm dampingofmicro-resonatorandgetsasatisfyingresult．Themultigridalgorithm isconsideredtohavethead· vantageofrapidconvergenceandgoodnumericalstabilityinsolvingtheliquidquestionsofsqueezefilm damping．Thepressuredis- tributionfunctionbetweenresonatorplatesandthevalueofvariousperformanceindicatorsareobtained．Therelationshipsbewteen thefrequencyandtheamplitude，thefrequencyandthephaseaswellasthecharacteristicsofdampingforcearestudied． Keywords：micro-resonator；squeezefilm damping；multigridmethod 随着精密加工技术和微电子技术 的发展 ，出现 了越 格上的高频误差，而多重网格方法能用一系列逐渐加密或 来越多的微电子机械系统 (MEMS)器件 。在MEMS器件 减疏的网格去离散求解区域，在不同疏密的网格下用迭代 中，有很多是利用微机械机构在固有频率处所具有 的优 法求解，从而消除不同频率的误差分量 ，将所有各重网格 良振动性能来工作即为微机械式谐振器。品质因数是其 上消除的误差分量效果综合起来，则可同时消去残量中的 关键指标 ，其定义为存储于振动之 中的总能量与每 高频和低频部分，从而大大提高了收敛速度。 个周期损耗的能量之比 。影响品质因数的能量损耗 机制(阻尼机制)分为三类 ：进入周围流体介质的能量损 1 刚性矩形平板微谐振器流一固耦 耗、通过支承进入基座的能量损耗、微结构材料内部固有 的能量损耗。其中进入周围流体介质的能量损耗在总能 合模型 量损耗中占绝对大的比例 。因此对于决定谐振器品 质因数的挤压膜阻尼的研究是非常重要的。目前求解挤 压膜阻尼的方法主要分为三种 ：1)解析法虽能体现器件 的几何参数与物理性能的关系，但却只能用于处理简单 的几何形状和边界条件中；2)宏模型法是对有限元数值 方程进行降阶后的方程，是解析形式的，有利于系统级仿 真和优化 ，但一般只用于微小变形中；3)数值法能够很 好的处理复杂几何形状及边界条件，能求解几何大变形 ， 图1 刚性矩形平板振动挤压膜阻尼模型及极板俯视图