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电容式料位计 早在1920年就已经有人利用电容器原理发明了能分辨1埃位移变化的超测微仪,目前用三端电容传感器已可测出5×10-5μm的微位移,最好的稳定性为每天漂移几个pm。 1埃:即10e-10 米，常用以表示光波的波长及其他微小长度。这个单位名称是为纪念瑞典物理学家埃斯特朗而定的. 板材在线测厚仪 随着工业技术的迅速发展，企业对产品质量和生产效率有了更高的要求，高精度在线测控仪器充实到生产的各个环节。 测厚仪作为一种在线测量板材厚度的精密仪器，在整个轧机的厚控系统中占有非常重要的地位，信号的准确度和分辨力直接影响了轧制板材的厚度质量。 目前，国内的钢铁和有色金属行业多采用非接触式的测厚仪，其中，非接触式的x射线测厚仪有一定的应用。长期以来，由于x射线管的老化和易损问题．高压发生器的准确度和稳定性以及整套设备造价过于昂贵等原因，一直难以得到广泛使用。 利用电容传感器对板材厚度进行在线检测。电容传感器具有温度稳定性好、结构简单、精度高、响应快、线性范围宽和可实现非接触式测量等优点。近年来，由于电容测微技术的不断完善，微米级精度的电容测微仪已是一般性产品． 2、 光栅式传感器 (1)光栅传感器原理（莫尔条纹） 当指示光栅和标尺光栅的线纹以一个微小的夹角相交时，由于挡光效应(当线纹密度≤50条/mm时)，在与光栅线纹大致垂直的方向上(两线纹夹角的等分线上)产生出亮、暗相间的条纹，这些条纹称为“莫尔条纹” 光栅：等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 构成：主光栅---标尺光栅，定光栅； 指示光栅—动光栅 条纹宽度： B θ a为刻线宽度，b为缝隙宽度，W＝a+b称为光栅的栅距(也称光栅常数)。通常a＝b，或a:b＝1.1:0.9。线纹密度一般为每毫米100、50、25和10线。 当W一定时，θ越小，则B越大。这相当于把栅距放大了1/θ倍，提高了测量的灵敏度。一般夹角θ很小，W可以做到约0.01mm，而B可以做到6～8mm。采用特殊电子线路可以区分出B/4的大小，因此可以分辨出W/4的位移量。例如W=0.01mm的光栅可以分辨0.0025mm的位移量。 若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则光信号被转换为电信号(电压或电流)输出。 条纹宽度： B θ 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 光闸莫尔条纹：当 ?=0, w1=w2 莫尔条纹特性： 方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时与光栅移动 方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动一个间距，方向对应 放大性：夹角θ很小时 BW ，位移放大， 提高灵敏度 可调性：夹角θ↓→ 条纹间距B↑ → 灵活 准确性：大量刻线 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提 高精度 B θ (2) 光栅传感器特点 ①精度高：可达1μm或更小 ②量程大：光栅尺长（米） ③响应快：可用于动态测量 ④要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动 ⑤成本高：电路复杂 光栅式位移传感器易于实现数字化测量和自动控制，是数控机床和精密测量中应用较广的检测元件。 缺点是对使用环境要求较高，在现场使用时要求密封，以防止油污、灰尘、铁屑等的污染。  光栅主要由主光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。主光栅的有效长度即为测量范围。必要时，主光栅还可接长。指示光栅比主光栅短得多，但两者刻有同样栅距。  使用时两光栅相互重叠，两者之间有微小的空隙d，使其中一片固定，另一片随着被测物体移动，即可实现位移测量。 (3) 光栅传感器结构 (4) 代表性产品 长度的测量范围 测量长度的常用工具有 （钢） 直尺、 钢卷尺等. 用这些工具测量可准确测出0.1cm，要准确测出更小尺度， 则需用游标卡尺、 螺旋测微器 （又叫千分尺） 外， 还可用光学显微镜、 电子显微镜 等精确度更高的测量仪器. 使用这些仪器不仅可测出细如毛发的物体的直径， 还可测出是毛发直径千分之一或万分之一的物体的长度。例如， 用电子显微镜可测出钨 （可做灯丝）原子的直径为2×10-10m， 即20nm （nm是 “纳米” 的符号， 1nm=10-9m， 约相当于头发丝的一万分之一） . 隧道扫描显微镜 ，还观测了许多原子分子. 用这种仪器的扫描探针可对表面进行纳米级加工 . 人们利用科学的测量方法， 还可以测量出极大的长度 （如星星之间的距离） . 例如， 人们已准确测出光在真空中（即电磁波在真空中） 的传播速度约为299792458m/s. 这个速度相当于每秒钟可绕地球赤道走7.5圈， 是迄今为止人们所认识的物体运动的最大速度. 宇宙是