微细电沉积加工技术浅析及实验研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具)2016年增刊1 微细电沉积加工技术浅析及实验研究 徐凌羿，张勇斌 ，陈金明，龙 飞，杨正杰 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900) 摘要 ：简要分析 了微细 电沉积加工的两种典型技术一 磁 电沉积技术和超声沉积技术，并结 合 中物院机械制造工艺研究所的研究设备，开展 了微细电沉积的初步实验研究，在铜基底上实现 了直径 25 m、高300Ixm 的微小圆柱的电沉积加工，并通过仿真分析解释 了沉积样件直径小于微 细 电极直径的原 因。 关键词 ：微细电沉积 ；磁场 ；超声 中图分类号 ：TG662 文献标识码：A 文章编号 ：1009—279X(2016)S1—0047—05 AnalysisandExperimentalStudyonM icro-electroformingTechnology XuLingyi，ZhangYongbin，ChenJinming，LongFei，YangZhengjie (InstituteofMachineryManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， Mianyang621900，China) Abstract：Twotypicaltechnoloyg ofmicro-electroformingarediscussedandrelevantexperiments aretakentostudythemechanism ofmicro—electroformingusingequipmentsdevelopedbyIMMT，China AcademyofEngineeringPhysics，inwhichanickelmicroco]umnwith diameterof25 Izm ，heightof 300 m isdepositedoncopperandfurtherstudyisaccomplishedwithFEA method． Keywords：micro—electroforming；magneticfield；ultrasonicirradiation 近年来 ，随着微机电系统(MEMS)的发展 ，能够 学反应、新相生成等几个环节，但与传统 电沉积技 满足MEMS特定功能和需求的微小复杂零件制造 术相 比，在微细领域存在着诸多技术难题 ，如电场 的微细加工技术备受关注。微细电沉积技术就是其 分布不均匀、液相传质受限等。这些现象会在微细 中的一种，并因此正在逐步兴起 。微细电沉积是一 电沉积过程中引起诸多问题如表面 凹凸不平 、内部 种特种加工方法，由于其复制精度高，工艺柔性好， 疏松多孑L、阴极不同位置沉积层厚度不一致等。为 如今用于生产制造航空航天和原子能工业 中一些 了解决这些问题 ，国内外众多学者对微细电沉积加 特殊零件 ，已成为一种尖端的加工技术。微细 电沉 工进行 了多方面的深入研究，并提出了多种微细电 积加工从原理上看，是 电化学沉积的一种，也是电 沉积工艺 。 镀加工的特殊应用；而电化学沉积的发明可 以追溯 本文选取 了微细 电沉积工艺 中两个典型技 到 1838年 ”【，当时苏联的Jacoli利用石膏制作出母 术——磁 电沉积技术和超声电沉积技术，对其进行 型后，在其表面涂上了一层石墨，使其获得导电性， 了综述，并结合中物院机械制造工艺研究所 自主研 然后表面镀上一层铜并脱模 ，从而获得了母型的铜 发的设备，开展了微细 电沉积的初步实验研究，在 基复制品。而如今发展起来的微细电沉积技术虽然 铜基底上实现了