导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石_英文_.pdf

导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石_英文_.pdf

  1. 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石_英文_

第36 卷第5 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 36 ,No. 5 2 0 0 8 年 5 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY M a y ,2 0 0 8 导模法和温度梯度法生长r 面蓝宝石 1,2 1 1 1,2 1 杨新波 ,李红军 ,徐 军 ,程 艳 ,周国清 (1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800 ;2. 中国科学院研究生院,北京 100039) 摘 要:r 面( 0112 )蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN 薄膜的衬底。采用温度梯度法(temperature gradient technique, TGT)和导模法(edge-defined film-fed crystal growth, EFG)生长了质量良好的r 面蓝宝石晶体。利用双晶衍射、光学显微镜、光谱仪观察和分析了晶体的结构和缺陷。结果表明:TGT 法生 长的r 蓝宝石晶体的双晶摇摆曲线对称性好,半高宽值仅为18 3 –2 rad·s ,位错密度为4 × 10 cm ,透过率达83%,晶体质量好。与TGT 法相比,EFG 法 5 –2 生长的r 面蓝宝石晶体的结构完整性较差,位错密度为5 × 10 cm ,透过率仅为75% 。但是EFG 法具有晶体生长速度快,后期加工成本低的优点。 关键词:温度梯度法;导模法;蓝宝石;位错密度 中图分类号:TQ164 文献标识码:A 文章编号:0454–5648(2008)05–0678–05 GROWTH OF r-PLANE SAPPHIRE BY EDGE-DEFINED FILM-FED GROWTH AND TEMPERATURE GRADIENT TECHNIQUE 1,2 1 1 1,2 1 YANG Xinbo ,LI Hongjun ,XU Jun ,CHENG Yan ,ZHOU Guoqing (1. Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China) Abstract: ( 0112 ) r-plane sapphire is usually used as a substrate for growing nonpolar ( 1120 ) a-plane GaN film. r-plane sapphires with good quality were success

文档评论(0)

ranfand + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档