纳米真空互联实验站将落户苏州.pdfVIP

【l】国集 成 电路 业 界 要 闻 C hina Integrated C ircuit 国内新闻 福建上润启动高精度硅压力传感器的自主研发T 作，目前已在核心部件高精度硅压力敏感芯片、电路 中芯国际推出 板及核心技术膜盒键合封装上取得突破。此次申报， 0．13pm低功耗嵌入式工艺 该项 目在专家评审中脱颖而出。(来 自CSIA) 中芯国际 日前宣布，其 0．13IXm低功耗 (LL) 华虹宏力和矽睿科技 的嵌入式闪存 (eFlash)工艺已正式进入量产。该技 术是中芯国际NVM非挥发性存储器平台的延续 ， 再次发力MEMS传感器市场 为客户提供了一个高性能、低功耗和低成本的差异 化解决方案。 上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称 中芯国际的0．13 Ill嵌入式闪存技术平台优势 华“虹宏力”)和上海矽睿科技有限公司 (以下简称 表现在三个方面：第一 ，强耐度：具备高达300K周 “矽睿科技”)近 日联合宣布，双方将深化合作，联 期的优秀的循环擦写能力，达到业界标准的三倍；第 合开发和生产新一代MEMS传感器。此举将进一步 巩固双方的战略合作伙伴关系，并将进一步增强双 二，极具成本效益：工艺创新，使用较少的工艺步骤； 第三，低漏电T艺适合极低功耗的应用并提升性能 方在MEMS领域的领先优势。 及可靠性：后段采用铜工艺 (Cu—BEoL)适合需要高 双方合作生产的第二款产品QMA5981是拥有 电流密度的应用 。 自主知识产权的加速度传感器，已于近Et成功上市。 此外，中芯国际的0．13 m低功耗嵌人式闪存 该款产品是矽睿科技基于华虹宏力 8英寸 MEMS 工艺平台，自主研发的第一款三轴单芯片加速度传 技术拥有全面的 IP，包括如PLL、ADC、LDO、USB 感器产品。这标志着矽睿科技和华虹宏力共同创导 等，同时融合了该技术低功耗 、高性能和高可靠性的 特点，可适用于具有低功耗需求的广泛的微控制器 的 “中国创造与中国制造”已开花结果，亦是双方强 (MCU)应用包括移动设备 、智能卡等。(来 自中芯 强联手、协同创新，进一步深耘 MEMS传感器市场 的又一次具体实践。 国际 ) 加速度传感器QMA5981具有内置 自检功能模 块，与市场上现有的同类产品相比，精度更高、可靠 中国首个 自主研发的 性更好，在同类产品中具有显著的竞争优势。该款产 硅压力传感器即将量产 品将开启 “智慧新生活”，可被广泛应用于可穿戴式 系统等多个领域，例如：智能手机、平板电脑、智能手 中国首个 自主研发的高精度硅压力传感器即将