氮化硅陶瓷表面DLC膜的制备及摩擦性能研究.pdfVIP

2010年9月 润滑与密封 Sep．2010 第35卷 第9期 LUBRICATIONENGINEERING Vol-35No．9 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2010．09．005 氮化硅陶瓷表面 DLC膜的制备及摩擦性能研究 荆翠妮 古 乐 张传伟 唐光泽 王黎钦 (1．哈尔滨工业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨 150001； 2．哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 黑龙江哈尔滨 150001) 摘要：利用等离子体基离子注入与沉积技术，在氮化硅陶瓷片表面制备200～400llm的类金刚石碳膜。测试薄膜 的厚度、表面形貌、结构、膜基结合力，利用球盘试验机考察DLC膜的摩擦性能。结果表明：沉积薄膜均匀光滑；薄 膜的硬度和弹性模量与基体差异较小，膜基结合力强；DLC膜具有较低的摩擦因数，抗磨性能优异。 关键词 ：DLC膜 ；制备工艺；摩擦性能 中图分类号：TH117 文献标识码 ：A 文章编号：0254—0150 (2010)9—021—5 Preparation andTribologicalPropertiesResearch 0fDLC Film OH theSurfaceofSiN Ceramics JingCuini GuLe ZhangChuanwei TangGuangze WangLiqin (1．SchoolofMechanicalnadElectricalEngineering，HarbinInstituteofTechnology，HarbinHeilongjiang150001，China； 2．SchoolofMaterialsScienceandEngineeringHarbinInstituteofTechnology，HarbinHeilongjiang150001，China) Abstract：Basedontheplasmabasedionimplantationanddepositiontechnoloyg ，diamondlikecarbonfilmsabout200 to400nm thicknessonthesurfaceofSi3N4ceramicdiskswereprepared．Thepropertiesofthefilm weretested，suchas film thickness，surfacetopography，structure，cohesionbetweenfilm and substratemateria1．Thetribologicalproperties wereinvestigatedonball-on—diskweartester．Resultsshow thattheDLCfilmsarewell·distributed，whichhavelowerfric— tioncoefficientandgoodabrasionresistance；thehradnessandelasticitymodulusoffilm arealmostthesamewiththebasal body，thecohesionbetweenfilm andsubstratematerial isgood． Keywords：diamondlikecrabonfilm ；preparationtechnique；tribologicalproperties 类金刚石碳 (Diamond—likeCrabon，简称 DLC) (PIII)和90年代中后期等离子体浸没离子注入与沉 膜是一种高硬度、高耐磨性 、低摩擦因数的新型薄膜 积 (PIIID)技术的出现 ，使得 DLC薄膜的合成技 材料。其结构介于金刚石与石 墨、含有 sp和 s ， 术 日益成熟 。 有着和金刚石膜相类似的特性 。DLC膜在大气和 目前固体润滑膜常用的评价技术为：采用摩擦磨 真空下具有较低的摩擦因数 ，在航空航