钛酸钡薄膜生长初期粒子形态及其反应机理的模拟研究.pdfVIP

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2017-05-17 发布于北京
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钛酸钡薄膜生长初期粒子形态及其反应机理的模拟研究.pdf

无机化学学报第 25 卷第 8 期 Vo1.25 No.8 CHINESE JOURNAL OF INORGANIC CHEMISTRY 1414附1419 2∞9 年 8 月铁酸锁薄膜生长初期粒子形态及其反应机理的模拟研究 .I.婷霞 1，2杨眷*，1.3黄平2 赵国平2 李宫荣 3 e 四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省1世点实验棠，成都 61ω68) e 四川师范大学物理与电子工程学院，成都 61∞68) F 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 61∞54) 摘要:在激光分子束外延生长铁酸顿(BaTi0 ， BTO)薄膜过程中，初期多位子碰撞反应过程是薄膜形成的关键过程。本文采用密 3 以及度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA) ，在 PW91IDNP 水平上研究了 Ba， Ti 、0、 O BaO、Ti0 BTO 分子在真空中的优先、 2 2 反服形成与演化过程，计算研究了它们碰攘反应及其中间体的形成机蝶，获得了相应中间体的几何结构、过渡态及反成活化能，并运用前线轨道理论分析了 BTO 分子形成机琪。对比恐怕、SrTiOl(STO)原胞的计算，详细分析了 BTO 铁电薄膜钙铁矿结构形和成的因素，结果表明，BaO ， Ti0 BTO 分子是激光分子束外延(LMBE)生长 BTO 薄膜初期的主要粒子形态，生长初期将以 Tí0 2 2 BaO 成核生长，并经囱类似于 BTO 单原胞中的铁酸银分子结构形成大量的具有钙铁矿结构雏形的原胞。为中心，结合关键词:铁酸锁:铁电薄膜:反应机理;活化能;原胞形成中团分类号: 0614.23如 0614.4 1+1 X献栋识码:A 文意编寄: 1 ∞嗣4861(2α:19)08唰 1414..Q6 Simulation Study of the Particle States and Reaction Mechanism