磁控溅射高温固体自润滑涂层的研究与进展.pdfVIP

: () · · 材料导报 综述篇 年 月 第 卷第 期 32 A 2017 2 A 31 2 磁控溅射高温固体自润滑涂层的研究与进展∗ , , , 陈亚军 郁佳琪 赵婕宇 王付胜 ( , ) 中国民航大学中欧航空工程师学院 天津 300300 , , 摘要 近年来 高温固体自润滑涂层在许多领域得到了快速发展 尤其是磁控溅射技术制备的微纳米高温固体自润滑涂层 、 、 。 , 可以满足航空领域应用中对涂层厚度 力学性能 摩擦性能的更高要求 在综合国内外大量文献的基础上 对磁控溅射方法制备的 、 , 、 高温固体自润滑涂层的材料体系 工艺参数优化和涂层结构设计取得的进展进行了综述 通过分析涂层组成相影响机理 工艺改进 , 。 措施和涂层复杂界面结构 提出未来高温固体自润滑涂层有待进一步研究的问题 关键词 高温固体自润滑 磁控溅射 涂层结构 中图分类号: 文献标识码: : / TB3 A DOI 0. 896 j.ssn.005-023X.20 7.03.006 ResearchandDevelo mentofHi hTem eratureSolidSelf-lubricantin p g p g Coatin Pre aredb Ma netronS utterin g p y g p g , , , CHENYa un YUJia i ZHAOJie u WANGFushen j q y g ( , , ) Sno-Euro eanInsttuteofAvatonEn neern Cv AvatonUnverst ofChna Tan n300300 p g g y j , Abstract Inrecent ears h htem eratureso dsef-ubrcantn coatn hasbeendeveo edra d nman feds.Mcro- y g p g g p p