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多单元压电陶瓷类变形镜高压驱动电源.pdf
2011 a: 8 月 15 曰 现代电予技术 July.2011
第 34 卷第 16 期 Modem Electronics Technique Vo l. 34 No. 16
多单元压电陶瓷类变形镜高压驱动电源、
龙传慧1·2·3 ，凡木文1·2 ，刘友1·2 ，李梅1.2
(1.中国科学院光电技术研究所，四川成都 610209; 2. 中国科学院自适应光学重点实验室，四川成都 610209;
3. 中国科学院研究生院，北京 100049)
摘 要:针对变形镜压电陶瓷类驱动器单元数多的特点，设计一种高带宽适合扩展成多通道输出的压电陶瓷驱动电源，
它利用光搞分相隔离从源极驱动功率 NMOS 管，简化了电路结构并保证了功率带宽.该驱动电源驱动 100 nF 容性负载时，
可实现单魏到池一300-+300 V 双极性高压输出，电压培益 35.5 dB. 信号不失真情况下，/J、信号响应频率达 10 kHz，大信
号响应频率 2 kHz. 瞬时充放电电流可达 400 mA. 实验表明该驱动电源的性能能够满足变形镜驱动的要求且电路结构
简单。
关键词:压电陶瓷s 驱动电源F 功率放大器，变形镜
中图分类号:TN722. 1-34 文献标识码:A 文章编号: 1004-373X(201 1) 16-0195-03
A Power Supply for Multi-Channel Piezoelectric Deformable Mirror
LONG Chuan-hujlι3 ， FAN Mu-wen1•2 , LIU YoU 1•2 • LI Mej1 .2
(1. In.titute of OptiC8 and Electronics. Chine盹 Academy of Science.. Chengdu 610209. China ,
2. Key Laboratory On Adaptive Optic.. Chinese Academy of Sciences. Chengdu 610209. China ,
3. Graduate Univer.ity. Chinese Academy of Science.. Beijing 100049. China)
Abstract , As for piezoelectric deformable mirror , many power supplies should be needed for many piewelectric actuators.
A simple power supply is designed with wide bandwidth by using the opto-isolator to drive the power NMOSFET from the
source of it. By testing , the power supply can provide a single-ended output voltage with 600V(peak to peak) , a voltage gain
with 35. 5dB , a small-signal bandwidth with 10kHz, a large-signal bandwidth with 2kHz , and a maximum charge/discharge
current of 400 mA with a piezoelectric ceramic load(equivalent capacitance of 100nFλThe experiment
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