基底材料对SolGel法制备BST薄膜结晶的影响.pdf

第23卷第2期 济南大学学报{自然科学版) V01．23No．2 OFUNIk’ERSlTY Apr．2009 2009年4月 JOURNAL 01；、JINAN(Sci．Tech．) J02—0134—04 文章编号：1671—3559(2009 基底材料对Sol—Gel法制备BST薄膜结晶的影响 刘敬，周宗辉 (济南大学材料科学与工程学院，山东济南250022) 摘 要：以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料，采用溶胶一凝胶(Sol—Gel)法，利用旋转涂覆工艺，在不同基底上 底材料对BST薄膜晶化行为及结构的影响。结果表明，经650oC热处理后，BST薄膜在硅基底上已基本形成ABO，型钙钛矿 结构，晶粒发育较好，表面光滑致密；BST薄膜与硅基底的晶格匹配度比与玻璃和刚玉基底高；经刚玉粉处理过的硅基底和镀 有ZnO薄膜的硅基底能够在一定程度土诱导淳膜生长。 关键词：BST；Sol—Gel；基底 中图分类号：TN304；TM22 文献标志码：A EffectofSubstratesand onBariumStrontiumTitanate Temperature Method ThinFilms Sol——Gel Preparedby LIU ding，ZHOUZong—hui ofMaterial and of (School Jinan，Jinan250022，China) Sc．ienceEngineering，University filmswere barium Abstract：BST(Bao65Sr0站Ti03)thinpreparedbysol—geltechniqueusing tium 3and rawmateria／sondifferentsubstrates．Effectsofdiffer- acetates[Sr(CH，COOH)2titanium—tetrabutoxide[T／(OC4H9)4]as entsubstratesand onthe behaviorandstructureofBSTthinfilmswere be· heat—treatingtemperaturecrystal investigated．Thecrystal the and showthatBSTthin haviorandmicrostructureof thinfilmswereexaminedXRDSEM．Theresults filmsannealedat650℃ by have of andsmoothsurface．BSTthinfilmsmatchedbetterwithsiliconsub— structure，withgrowthcrystalgrains AB03pero