脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展.PDF

第 24 卷 　第 2 期 物 　理 　学 　进 　展 Vol . 24 ,No . 2 　2004 年 6 月 PRO GR ESS IN PH YSICS J un . ,2004 文章编号 (2004) 020 15211 脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展 1 ,3 1 1 2 3 徐红玉 , 张元冲 , 宋亚勤 ,卢秉恒 ,陈殿云 ( 1. 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室 ,西安 　7 10049 ; 2 . 西安交通大学机械工程学院; 　3 . 河南科技大学建筑工程学院) 摘 　要 : 　短脉冲激光显微微加工因其具有制作高精度微结构的能力和其在现代微制作技 术中的应用 ,微尺度薄膜热传递的研究受到极大关注 ,近年来对薄膜结构高频加热的研究迅 猛发展 。本文对十年来薄膜微尺度热传递的相关研究进展做了简要评述 。 关键词 : 　短脉冲激光 ;薄膜热传递 ;综述 ;微尺度 ;研究进展 中图分类号 : 　T K 124 　　　　　　　　文献标识码 : 　A 0 　引　言 随着科学技术的发展 ,新材料和革新技术不断涌现 ,尤其是高能超快激光技术的发展 和大量的工程应用 , 以及薄膜结构的工程应用前景越来越广 ,使得薄膜热传递的应用研究 变得更加急需 。对于用脉冲激光的材料处理微尺度热传递极其重要 ,短脉冲激光微加工 的应用包括医用设备的制作 、微传感器和微电子 ,金属处理的例子有激光微显微加工 、激 光制模 、以及激光表面硬化等等 。此外 ,半导体和 M EM S 技术的飞速发展 ,器件的尺寸已 进入到微/ 纳米尺度 。薄膜尤其是超薄薄膜在微机械和微电子器件中占有重要的地位 ,金 属薄膜 、象 SiO2 介电或 Si 半导体类薄膜是微电子装置的重要组成部分 。减小装置尺寸 到微尺度增强了装置的转移速度 。然而尺寸的减小将增加导致微装置高热载荷的热产生 率 。随着器件向集成化 、小型化方向发展 ,这些薄膜的热物性显得越来越重要 ,其传热特 性决定着微电子器件工作的稳定性和可靠性 。由于量子效应 、物质的局限性及巨大的表 面及界面效应 ,使微尺度下的热物性产生了明显的尺寸效应 ,器件的热学性质受到人们的 关注 。研究薄膜热行为本质上是为了预测微电子装置的变形或获得理想的微结构 。准确 的对微/ 纳米薄膜热传递进行定量分析对器件的研究和发展具有重要意义 。 本文对十年来微尺度薄膜热传递的相关研究做了简要评述 。首先简单介绍了几个微 收稿 日期 : ( ) 基金项 目: 国家自然科学基金资助项 目 50 175089 和 10 1320 10 　2 期 徐红玉等 :脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展 153 尺度热传递模型 ,进而列举了微尺度薄膜热传递相关方面的重要研究成果 ,最后对工程上 急需解决的与微尺度薄膜热传递相关的工作提出了设想 。 1 　微尺度热传递模型的数学描述 ( ) 从微观角度来看 ,热是通过分子运动及介质中的热载体 自由电子和晶格振动 通过 扩散从高温区域向低温区域传输的。在辐射热传递中 ,将首先加热金属中的自由电子及 ( 受束缚电子 。而对于非金属来说 ,首先加热离子化合键或半导体中的声子 这种现象与辐 ) 射波的长度有关 。当所要考虑的时间与不同能量载体间相互作用的时间相当时 ,这种不 同加热机制的影响就变得非常重要 。 对于超快速加热产生的热场及超低温状态的传热 ,在包含由短脉冲激光产生的高频 加热的应用中 ,典型的响应时间量级在皮秒 ,相当于声子电子松弛时间。该情况下 ,