时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征.pdfVIP

第6卷第1期 纳米技术与精密工程 Vd．6No．1 21308年1月N置咖岫血岫andPreeisiou陆Igh岫 Jan．2008 时间相移显微干涉术用于微机电 系统的尺寸表征 郭 彤，胡春光，陈津平，傅 星，胡小唐 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) 摘要：提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上．该方法速度快、无损、非接触、 易在晶片级进行，具有亚微米级的水平分辨力，垂直分辨力在纳米量级．测量系统采用Mirau显微干涉物镜，利用高 性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移，并通过健壮的5帧Hariharan算法荻取表面的相位信息．通过 测量美国国家标准研究院(NIsr)认证的标准台阶对系统进行了精度标定，并通过测量微谐振器和压力传感器微薄 膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能． 关键词：纳米计量；微机电系统；相移干涉术；Harill姗算法；台阶标准 中图分类号：TH741．4文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2008)01-(脚4-06 TemporalPhase-ShiftingMicroscopicInterferometry for GeometricalCharacterization of Devices MEMS GUO xing，HU．Xiao-tang Tong，HUChurl—guang，CHEN血一ping，FU and (State Instruments， Key IabolfalI巧“Precision№咄Technology 30(1)72，China) TumjinUniversity，Tmjin usedfor characterizationde- was and Abstract：Temporal interferometr)r phase-shiftingmicroscopic geometrical vice inthis methodis to outatthe inspectionpaper．This quick，non-destractive，non-eontact，andeasycarry waferscalewithsub-micrometerlateralresolutionandnanometerverticalresolution．Themeasurement system wasbasedonaMirau a torea