复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响.pdfVIP

第37卷第10期 东 北 大 学 学 报（ 自 然 科 学 版 ） Ｖｏ ｌ． 37，Ｎｏ． 10 2016年 10月 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎｏｒｔｈｅａｓｔｅｒｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ ） Ｏｃｔ． 2016 ｄｏｉ ：10． 3969／ ｊ． ｉｓｓｎ． 1005-3026． 2016． 10． 015 复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响 1 1 1 2 王晓冬 ，张 磊 ，巴德纯 ，陶继忠 （1. 东北大学机械工程与自动化学院，辽宁沈阳 110819；2. 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳 621900 ） 摘 要：建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型． 依据该理论模型，在牵引级不同螺旋升角、 转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下，对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究． 结果 表明：压缩比随螺旋槽深的减小，先增加后减小，存在最优螺旋槽深，使牵引级的压缩比达到最大；螺旋升角对 最优螺旋槽深影响较小；最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小，随转子转速的增加而增加；当被抽气体 为黏滞流时，最优槽深值更小． 关 键 词：复合分子泵；牵引级；理论模型；压缩比；最优槽深 中图分类号：ＴＢ 752 文献标志码：Ａ 文章编号：1005-3026（2016）10-1437-04 EffectofSpiralGrooveDepthofCompoundMolecularPump’s DragStageonCompressionRatio 1 1 1 2 WANGXiao-dong ，ZHANGLei ，BADe-chun ，TAOJi-zhong （1. Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ＆ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ ，Ｎｏｒｔｈｅａｓｔｅｒｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ 110819，Ｃｈｉｎａ ； 2. Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｍａｃｈｉｎｅｒｙ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ，Ｃｈｉｎａ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｐｈｙｓｉｃｓ ，Ｍｉａｎｙａｎｇ 621900， Ｃｈｉｎａ． Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ａｕｔｈｏｒ ：ＷＡＮＧ Ｘｉａｏ-ｄｏｎｇ ，Ｅ-ｍａｉｌ ：ｘｄｗａｎｇ@ｍａｉｌ． ｎｅｕ． ｅｄｕ． ｃｎ ） Abstract：Ａ ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ ｍｏｄｅｌ ｆｏｒ ｄｅｓｃｒｉｂｉｎｇ ｔｈｅ ｐｕｍｐｉｎｇ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｃｏｍｐｏｕｎｄ ｍｏｌｅｃｕｌａｒ ｐｕｍｐ ’ｓ ｄｒａｇ ｓｔａｇｅ ｗａｓ ｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ． Ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ ｔｈｅ ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ ｍｏｄｅｌ ，ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ ｂｅｔｗｅｅｎ ｔｈｅ ｄｅｐｔｈ ｏｆ ｄｒａｇ ｓｔａｇｅ ’ｓ ｓｐｉｒａｌ ｇｒｏｏｖｅ ａｎｄ ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ ｒａｔｉｏ ｗａｓ ｓｔｕｄｉｅｄ ｕｎｄｅｒ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｓｐｉｒａｌ ａｎｇｌｅｓ ，ｒｏｔｏｒ-ｓｔａｔｏｒ ｃｌｅａｒａｎｃｅｓ ，ｒｏｔｏｒ ｓｐｅｅｄｓ ａｎｄ ｇａｓ ｆｌｏｗｓ． Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗｅｄ ｔｈａｔ ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ ｒａｔｉｏ ｆｉｒｓｔｌｙ ｉｎｃｒｅａｓｅｓ ａｎｄ ｔｈｅｎ ｄｅｃｒｅａｓｅｓ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｄｅｃｒｅａｓｅ ｏｆ ｓｐｉｒａｌ ｇｒｏｏｖｅ ’ｓ ｄｅｐｔｈ． Ｔｈｅｒｅ ｅｘｉｓｔｓ ｔｈｅ ｏｐｔｉｍａｌ ｇｒｏｏｖｅ ｄｅｐｔｈ ，ｗｈｉｃｈ ｒｅｓｕｌｔ ｉｎ ｔｈｅ ｍａｘｉｍｕｍ ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ ｒａｔｉｏ ｏｆ ｄｒａｇ ｓｔａｇｅ． Ｔｈｅ ｓｐｉｒａｌ ａｎｇｌｅ