大面积CdTe多晶薄膜制备条件及性能研究论文.pdfVIP

．334· 中国太阳能光伏进展 ． 大面积CdTe多晶薄膜制备条件 及性能研究术 白桂庭蒋显辉郑家贵黎兵 冯良桓 张静全蔡伟 ．． 蔡亚平 雷智 李卫武莉莉 ，l四Jll大学材料科学系成都610064 ’ 【摘要】 在通过调节灯管分布获得均匀温场后，通过对沉积温度，沉积气压的控制，得 到三种不同沉积条件下的CdTe薄膜，通过XRD，SEM测试分析，‘发现在相同 ，沉积温度下，随着气压的升高薄膜的晶粒更加均匀致密，获得到了适宜cdTc 薄膜沉积的条件。 【关键词】 CdTe太阳电池大面积。近空间升华 0引言 20世纪能源危机的日益加剧，使人们对可再生能源的研究和应用日益加深。在众多可再 生能源中，太阳能作为一种清洁污染小的能源受到人们的广泛重视。第二代薄膜太阳电池材 料中，CdTe薄膜以其高效率，低成本的特性成为国内外研究的热点。根据报道，小面积的 CdTc薄膜电池最高效率为16．8％。我国实验室研发的小面积(0．05 今后发展的重点。 本文用CBD法在300*400 温场。在此基础上，利用沉积温度和沉积气压的改变，获得不同条件下的CdTc薄膜。通过 XRD，SEM测试分析，进而初步探究温度气压条件对大面积CdTe薄膜沉积的影响。 1实验 1．1 样品制备 我们制备的CdTc多晶太阳电池的基本结构如图1所示： 化合物半导体和空间用太阳电池及．4*--1-．335． i一刻线；乒Ni电极；3一ZnTe／ZnTe：Cu背接触层；4一CdTe层； 、5一CdS层；6一Sn02．F透明导电膜；7n玻璃衬底 …一图1太阳电池结构示意图 制而成，生长池置于水浴中，用电机控制样品架缓慢旋转，保持温度为80。C～83。C，pH值 为8～9，将清洗后的沉积有透明导电膜的Sn02：F玻璃片放入恒温溶液中并进行适当的搅拌， 就可在玻璃衬底上形成均匀的CdS薄膜(沉积时间为1h)。观察沉积过程可以发现，·开始时 溶液呈淡黄色，最后变成橙黄色。 大面积CdTe薄膜制备由于其面积大，不同于一般小面积的近空间升华设备，我们自己 设计的沉积设备如图3所示，源与衬底距离2～5rain，在沉积室内充氩氧混合气，工作气压 积在较低温度的衬底上时，又合成为CdTe，其反应方程式为 2CdTe(S)一2Cd(g)+Te2(g) nm／s。 沉积速率主要决定于源温度和反应室气压，一般沉积速率为1．6～160 ， l I— 6 l I ’一 I l I -_一■■■_____ l一电机；2—CBD加热池；3一水浴；4一样品； l一上石墨；2-下石墨；3w支架；扣石英务； 5一加热电阻；6一CBD反应池 ’5一石墨裙边；6一样品；7--#降架 图2CBD法制备大面积CdS薄膜装置平面示意图 图3大面积CdTe沉积设备示意图 。 ^ t 1．2 CdTe薄膜及太阳电池性能测试 ． 薄膜结构用丹东仪器厂生产的Y-4Q型x射线衍射仪观察，使用铜靶民线，扫描范围为 100～900，扫描速度为0．060／s。 用HitachiS-450型扫描电镜观察刚沉积CdTe薄膜的表面形貌。 ·336． 中国太阳能光伏进展 2结果与讨论 2．1 X射线衍射分析 我们分别对三组样品进行XRD，三组的沉积温度都为570／470，对应的气压分别为2kPa