奈米粉體粒徑原級標準量測系統之建置论文.pdfVIP

奈米粉髅粒徭原级棵翠量测系统之建置 金太昌’林志明2潘善鹏2翁漠甫1隙朝条2 1工檠技衍研究院量测技衍骚展中心副研究具 2工桨技衍研究院量测技衍霰展中心研究员 *E-mail：Tachang@itri．org．tw 摘要t鹅了碓勰奈米材料加工设借的加工性能舆奈米材料的奈米性，奈米尺寸如粉髓粒径 的桧测技衍舆棵辈追溯乃是奈米科技的重要网键技衍之一。本研究以鼋重力氯腮平衡法建 置奈米粉髓粒徭原级檩辈量测系统，此量测系统首先以霸化器将粉髅舆空氟混合形成氯熙 後，缝由鼋荷中和器使粉髓呈带鼋状憋，接著使带鼋粉髓悬浮於雨平行鼋槌平板中，再根 撼静鼋力舆重力同之静力平衡阴僚，求得粉髓耍量。最後则是透迥粉髓密度针算出粉髓粒 径大小。此方法之原理简罩，非常遍合用以鹱展高量测荦碓度舆低量测不磙定度之奈米粉 nM。 髓粒径原级榇犟量测系统。於100舳至500nM量测花圈内，最佳量测不碓度可小於2 圈键字t粉髓粒侄、原级檩单、雹重力氯鹰平衡法 1．前言 傅统的粒子在遥入奈米尺度之後，展现出不同於以往经聪的特性。由於逭些猖特的性 赏舆傻黠，已被庚泛虑用於工檠、商巢舆消费性废品上。南了黢遥材料奈米化毅侑的加工 性能舆奈米粉髓的特性，奈米粉髓的检测能量是不容忽视的重要嗣键。有必要透遇奈米粉 髓粒徭檩单之参敷量测追溯、园隙比封舆封量技衍研袋，以建立蓝维持最高奈米粉髓粒径 棵犟。 ，菊了能麴直接追溯至园陈棵犟度量衡罩位(slUnits)。必须要骚展绝封式奈米粉髓粒 径量测系统。目前所有的绳封式奈米粉髓粒侄量测中，鼋重力氟腰平衡法 AerosolBalance，EAB)由於具有最低之量测不雅定度[I-2]。因 (Electro-Gravitational Measurement for 此，量测技衍骚展中心(Center Standards)将其规割翥奈米粉髓粒径原 级檩辈量测系统。此技衍；I哿带鼋粉髓尊入雨水平放置之平行鼋棰平板中，再根摅静鼋力舆 重力简之静力平衡嗣保，求得粉髓夤量，最後剐是透遇粉髓密度推算出粉髓粒徭大小。此 方法之原理筒罩，非常逋合用以骚展高量测辈碓度舆低量测不碓定度之奈米粉髓粒径原级 檩犟量测系统。於100nm至500曲量测就圉内，最佳量测不碓度可小於2加。 2．量测原理 Oil 罨重力氟脬平衡法利用颓似於密立根油滴寅黪(Millikan’SExperiment)的 Drop 方式柬量测奈米粉髓粒徭。如圄一所示，雨鼋棰平板同隔鼠鼋位差巧罨埸方向使得粉髓 的静鼋力方向向上。凿畴同t--O畴，罩位夤量皿且带有口佃鼋荷的粉髓注入水平放置之雨 平行鼋j亟平板同。耆作用於粉髓上的力有向上的静鼋力尼舆向下的重力尼逵成平衡畴，粉 髓的终端速度y可以下式表示之[1]： 122 y=订—qeiV一(1一盟)g】 (1) m／-／ pP 其中， r捣鬏弛畴同(RelaxationTime)、e鹅基本鼋荷(ElementaryCharges)、占捣 檩挲重力值(StandardGravitation)、p，和p，分剧菊空氟舆粉髓密度。其中，鬏弛畴同 r、粉髓粒径西、空氛密度p。舆流髓的黏滞傺敷刁的阴保捣： 弘酱州P) (2) Correction 其中，巴倒捣康事漠滑溜修正傈敷(CunninghamS1i