小型高精度差压传感器论文.pdfVIP

小型高精度差压传感器 郭丽娟 陈信琦孙海玮 沈阳仪表科学研究院辽宁沈阳 110043 摘要：介绍了一种双绝压敏感芯体配对的差压传感器，它是利用硅压阻原理测量气体或液体的压力 差，不仅精度高，而且体积小。传感器利用信号处理电路将压差信号转换成标准电信号输出。 关键词：小型 高精度传感器 1．引言 小型高精度差压传感器由压阻式传感器和信号处理模块组成。可以用来连续测量过程流体(液体、气体) 的压力参数，并将被测量转换成一5v～+5v直流信号输出，该输出可作为指示、记录和调节器的输入信号。 该传感器适应用于弹、星、机、炮、车、船等武器装备的动力、操作控制和条件监测等系统的压差测量。 2．工作原理 传感器通过压力接口感受被测介质的压力信号，并将其传送给敏感芯片，芯片上的扩散硅电阻接受到压 力作用后桥臂电阻发生相应的变化，在激励电源的作用下，传感器电阻的变化也就转变成了电信号的变化。 但传感器采用了两个绝压敏感器件的配对，高低压腔输出的电信号是相互独立的，不能直接用来显示或进行 信号控制。因此，我们设计专用的信号电路，将独立的两个压力信号差值转换成标准的电信号输出。其原理 图如图1所示。 图l 3．特点 3．1结构小巧、安全 传感器整体设计应用先进的计算机辅助设计技术。在理想的弹性材料一半导体单晶硅基片上，采用 具有自主技术的微电子平面工艺和微机械加工工艺融合技术，制做惠斯登敏感桥路与弹性体单片一体化 结构的敏感芯片，采用静电封接和微电子封装技术，将芯片封装在外径413的金属座中，再利用熔焊技 积小巧的特点。 采用金属材料隔离密封的绝压传感器封装结构，保护敏感芯片免受环境污染，提高了传感器的使用环境 的适应能力。 采用双敏感器件配对结构，不仅提高传感器零点和满量程性能指标的对称性，而且保证任何—个压力方向的过 3．2供电电压可调范围宽，单、双电源均可 单电源供电的情况下，传感器的供电电压可以在12V～24V范围内变化，双电源供电的情况下，传感器 的供电电压可以在±12V～±18V范围内变化，电源的变化对传感器的输出不会造成影响，这主要取决于电 241 源转换模块，我们在信号处理前首先对传感器的供电进行处理，因此该传感器具有供电电压范围宽的特点。 电源转换模块的i1二作原理如图2所示。 图2 3．3高精度，线性可补偿 利用计算机设计技术，对敏感器件的力学特性和封装结构的应力特性进行建模和模拟分析，进行 优化设计。使不可后处理的迟滞和重复性最大误差控制在O．05％FS以内，本征非线性误差在O．3％FS 以内。 信号处理电路的工作原理图如图3所示，在信号输出和传感器敏感芯片供电之间引入了电压反馈，通过 改变不同压力下桥路的供电电压，调整传感器的输出信号，从而改变传感器的线性。数据证明补偿后的线性 可以控制在O．05％FS以内，准确度在O．1％FS以内。补偿前后的精度曲线对比图如图4所示。 输出 压力 图3 图4 3．4工作温区宽，热漂移低 传感器可以在一45℃～125℃范围内正常工作，并且在-45℃--85℃范围 内，零点和灵敏度热漂移不大于O．015％／FS／℃。补偿原理如图5所示，分别 对传感器的两个敏感芯体进行温度补偿，零点补偿采用在桥臂上串并联电阻， 通过改变桥臂电阻的温度特性，改变零点输出的温度特性；灵敏度补偿采用 …， 热敏电阻串并联补偿网络，通过补偿网络的温度特性改变桥路的供电电压从 而改变传感器灵敏度输出的温度特性。 3。5识别压力方向、对称性高 传感器的输出信号能在一5V～+5V变化，即是说，当正压腔不加压的情况 下，给负压腔施加0到满量程的压力信号，对应传感器的输出在O～