以喷墨印刷制作可挠性焦电感测器-国立宜兰大学机械与机电工程学系.PDF

以噴墨印刷製作可撓性焦電感測器 ■國立宜蘭大學機械與機電工程學系胡毓忠‧廖偉珈 本研究以噴墨印刷技術製作出可撓式氧化鋅焦電感測器，利用溶膠凝膠法，調配出適當黏 度及表面張力之氧化鋅溶液，搭配噴墨印刷技術將氧化鋅沉積至鋁基板上，以及沉積導電奈米 銀在氧化鋅薄膜上當作上電極。焦電層薄膜品質、基材的種類、電極形狀與面積、焦電層裸露 面積與厚度，均對感測器之焦電訊號影響甚巨，而影響焦電薄膜品質之參數很多。就感測器設 計而言，部份電極之焦電感測器已證實比全覆蓋電極之焦電感測器有優良之焦電響應，主要因 未覆蓋的焦電感測器中，裸露氧化鋅薄膜有助於增加吸收外在能量。故本文提出四種不同上電 極形狀設計，分別為全覆蓋型、靶狀型、十字型及網狀型，對焦電感測器進行優化，試圖再提 升焦電響應。由實驗結果得知，以網狀型上電極之焦電感測器可獲得較佳之焦電響應。感測器 原型經實驗驗證可應用於非接觸式紅外線感測器、火災預警裝置、熱型感測器等。 電材料噴印在各類基板或軟性材料上，可簡 一、介紹 化製程並提高材料利用率，以達降低成本之 (一研究動機與目的) 效。噴墨印刷成為相當熱門的製程技術。本 焦電材料在微型溫度感測器的應用廣 文採用噴墨印刷技術將氧化鋅(ZnO)焦電層 泛。生醫材料應用上，因不正常細胞(如癌細 噴印在可撓性金屬基板上，製作成一可撓式 胞的溫度較正常細胞高，故微型溫度感測器) 紅外線焦電感測器。以實驗方法找出該可撓 可用於監測不正常細胞。紡織業也漸從傳統 式紅外線焦電感測器的電壓響應與熱輸入之 產業快速轉型，將電子元件植入纖維或衣物 間的定量化關係，續結合有限元素法與簡化 中並配合可撓性基材，使衣物擁有監控生物 共軛梯度法(Simplified Conjugated Gradient 資訊的能力。溫度感測器非但能應用在紡織 Method ，SCGM) ，進行最佳化設計，以找出 業上，還能以溫度感測器陣列來偵測體溫， 最佳的電極型狀。 並藉由軟體運算來成像出人體或生物的樣 (二)文獻回顧 貌，不但有溫度感測的作用更兼具紅外線攝 焦電感測器(Pyroelectric Sensor)的操作 影機之功能。有機導電材料及溶液化學法 （如 原理係利用焦電材料吸收熱能而產生溫度變 共析出法及溶膠凝膠法等）的發展，使得有 化時，其自發極化現象而產生輸出電壓 [1] ， 機導電材料可用印刷的方式來做加工，而印 如圖 1所示。通常判斷焦電材料的優劣準則 刷方式又有網版印刷（ Screen Printing ）、噴 為 Fv值，稱為焦電優值(Figure of Merit) ，該 墨印刷（ Inkjet Printing ）、微接觸印刷 數值越大代表電壓響應越好，焦電感測器性 （Microcontact Printing ）、及毛細管微鑄法 能也就越好。雖然 PZT的 Fv值優於氧化鋅， （Micromolding in Capillaries ），運用這些印 但因氧化鋅的製程較簡單且良率較高，故選 刷方式，可以快速且有效率的製作出大面積 擇 Fv值略低於 PZT的氧化鋅來做為本研究 的元件。噴墨印刷技術可將導電材料或非導 的焦電材料。氧化鋅薄膜的製程技術多種， 40 [圖 1] 焦電材料其極化量因溫度改變而