丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿-中国光学.PDF

第３卷　第３期 　中国光学与应用光学 Ｖｏｌ．３　Ｎｏ．３ 　 　　 　　　　　 ２０１０年６月　 　 　 Ｊｕｎｅ２０１０ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓ 文章编号　１６７４２９１５（２０１０）０３０２７９０６ 丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿 １ １，２ １，２ 齐向东 ，滕丽华 ，于海利 （１．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３； ２．中国科学院研究生院，北京１０００３９） 摘要：提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构，推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计 算式，实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正，通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。另 外该方法还通过调整参考镜角锥棱镜消除了测量过程中丝杠轴向窜动引起的测量误差。实验结果表明，采用提出的方 法在３００ｍｍ的丝杠行程内修正的最大阿贝误差为１３９ ｍ，补偿后最大残差仅为０４８ ｍ，有效地提高了丝杠测量精 μ μ 度。 关　键　词：光栅刻划机；丝杠；双频激光干涉仪；阿贝误差 中图分类号：ＴＧ８５；ＴＨ７４１．３　　文献标识码：Ａ ＲｅａｌｔｉｍｅｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎｏｆＡｂｂｅｅｒｒｏｒｉｎｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｌｅａｄｓｃｒｅｗａｃｃｕｒａｃｙｂｙｄｕａｌｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ １ １，２ １，２ ＱＩＸｉａｎｇｄｏｎｇ，ＴＥＮＧＬｉｈｕａ ，ＹＵＨａｉｌｉ （１．ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＧｒａｄｕａｔｅＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００３９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｎｅｗｏｐｔｉｃａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｎａｄｕａｌｆｒｅｑｕｅｎｃｙｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｆｏｒｍｅａｓｕｒｉｎｇｌｅａｄｓｃｒｅｗｓｉｎｄｉｆｆｒａｃ ｔｉｏｎｇｒａｔｉｎｇｒｕｌｉｎｇｅｎｇｉｎｅｓｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ，ａｎｄａｆｏｒｍｕｌａｗｈｉｃｈｃａｎｑｕｉｃｋｌｙｃｏｒｒｅｃｔｔｈｅＡｂｂｅｅｒｒｏｒｉｓｄｅｄｕｃｅｄｉｎ ｔｈｉｓｐａｐｅｒ．Ｉｎｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｔｅｓｔｉｎｇｌｅａｄｓｃｒｅｗｓ，ｂｅｃａｕｓｅｔｈｅＡｂｂｅｅｒｒｏｒｉｎｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｄｄａｔａｃａｎｂｅｃｏｍｐｅｎ 　　收稿日期：２０１００１１６；修订日期：２０１００３１７ 　　基金项目：“十一五”国家科技支撑计划重大项 目（Ｎｏ．２００６ＢＡＫ０３Ａ０２）；国家重大科研装备研制项 目（Ｎｏ． ＺＢＹＺ２００８１）；中国科学院重大科研装备研制项目（Ｎｏ．ＹＺ２００８０４）；吉林省重大科技攻关项目（Ｎｏ．０９ＺＤＧＧ００５）；吉林省 科技发展计划项目（ＮｏＮｏ ２８０ 　　　　　中国光学与应用光学