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GIGAPHOTON 開發出全球第一個開發出全球第一個ArF 浸潤式雷射無氦吹淨製程浸潤式雷射無氦吹淨製程 開發出全球第一個開發出全球第一個 浸潤式雷射無氦吹淨製程浸潤式雷射無氦吹淨製程 Gigaphoton 一直致力於發展其「綠色創新」尖端環保技術，以大幅減少氦氣消耗，為遭 受氦氣短缺和價格上漲問題困擾的工業領域做出重大貢獻 日本小山--(BUSINESS WIRE)-- (美國商業資訊)-- 微影光源設備的主要生產商 Gigaphoton 株式會社(Gigaphoton Inc.)今天宣布，該公司成功為其旗艦產品GT Series ArF 浸潤式雷射開發出第一個無需使用稀有氦氣的創新吹淨製程。這項創新的 無氦吹淨製程進一亶發展了該公司尖端的「綠色創新」環保技術，能夠讓微影工具的氦 消耗大幅降低。 自2000 年成立以來，Gigaphoton 始終專注於實現業界最高水準的輸出功率、性能和 穩定性，以及能耗節約，以提供具有環保意識的「綠色半導體廠」所需的更高效率。最 近，氦氣的不穩定供貨和價格上漲促使Gigaphoton 與一家領先的設備生產商和掃描 器生產商合作，共同開發無需使用氦氣的吹淨製程。Gigaphoton 在一家日本設備生 產商的工廠完成了製程性能評估，證明這項創新的吹淨製程可用於量產。 氦是地球上的一種稀有氣體，在大氣中的含量僅占到5.2 ppm。氦氣主要是作為天然 氣開採的副產品而被開採出來。氦氣被用於多個工業領域，包括醫療設備、線性電動 機車和半導體，是現代生活中不可或缺的元素。但 製造業的氦氣消耗一直在顯著增加， 據預測，如果以目前的速度持續消耗氦氣，人類的氦氣供應將在今後25 年左右內耗 盡。因此，氦氣的不穩定供應和價格上漲已經成為今天所面臨的一個嚴重問題。 Gigaphoton 意識到這個問題對整個工業界產生了負面影響。該公司已經在考慮如何 儘早採用氦氣的替代氣體，以減少吹淨製程中的氦氣消耗，幫助為其他更需要氦氣的 產業保持氦氣供應，從而為工業界做出重大貢獻。 氦氣被用於雷射光源設備內部光學元件模組的吹淨氣體。氦氣可清除模組內部產生的 活性氣體和雜質，防止光學元件受損。一台雷射裝置年消耗氦氣約80-160 千升。因 此，目前全球正在運作的所有雷射光源設備年的氦氣消耗量約為100,000 千升。 為了代替氦氣，Gigaphoton 開發出全球第一個使用氮氣的吹淨製程，並證明該製程能 夠保持與氦氣同等水準的雷射性能。氮氣是一種惰性氣體，其含量佔據大氣的78%左 右，且供應穩定。 Gigaphoton 株式會社總裁兼執行長Hitoshi Tomaru 表示：「作為為半導體製造業提供 支援的雷射供應商，我們將努力維持穩定的生產環境，並永遠心繫全球環境和整個工 業界。我們承諾不斷發展我們的EcoPhoton™計畫，為半導體工業的綠色化做出更多 貢獻。」 關於關於EcoPhoton™計畫計畫 關於關於 計畫計畫 EcoPhoton™計畫是始創於2003 年的一份規劃藍圖，旨在實現綠色創新，並專注於 詳細分析3 個關鍵的持有成本(CoO)指標：耗材成本 (CoC) 、停機成本(CoD)和環境成 本(CoE)。該計畫致力於透過開發創新的綠色技術來實現這些成本的持續降低。 關於關於Gigaphoton 關於關於 自2000 年成立以來，Gigaphonton 一直致力於研發和供應能够滿足用岆需求的高性 能DUV 雷射光源設備，其產品為泛亞洲地區、美國和歐洲地區的主要半導體晶片生 產商所採用。 Gigaphoton 是具有成本效益的、用於大規模生產的高效率微影光源領域的領導者。 Gigaphoton 懷抱全球化業務願景，力爭成為世界首屈一指的微影光源供應商，從研 發到生產，再到一流的可靠性和世界級客岆支援，在其事業中的個階段都專注於終 端使用者的需求。 如需詳情，請造訪 。 免責聲明：本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用，煩請參照原 文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。 Contacts 媒體聯絡方式媒體聯絡方式 媒體聯絡方式媒體聯絡方式 Gigaphoton 株式會社 寺嶋克知，+81-285-37-6931 經營企劃部 katsutomo_terashima@ 久永直人，+81-285-28-8415 營業部 naoto_hisanaga@ Source: Gigaphoton Inc.