准同型相界钛酸铋钠基无铅铁电薄膜的制备及其性能研究.pdf

4 1 6 ( ) Vol ． 4 1 ，No ． 6 第 卷第 期 上海师范大学学报 自然科学版 2 0 1 2 1 2 Journal of Shanghai Normal University (Natural Sciences) Dec ． ，2 0 1 2 年 月 准同型相界钛酸铋钠基无铅铁电 薄膜的制备及其性能研究 * ， ， ， 金成超 王飞飞 石旺舟 姚其容 ( ， 200234) 上海师范大学数理学院 上海 : 、 ． 摘 要 发展环境友好的传感器 存贮器及换能器用铁电 与压 电薄膜是 当前的研究 热点之一 ( PLD) ， ， La Sr CoO ( LSCO) 采用脉冲激光沉积 的方 法 通过优化制备 工艺 引入 0 ． 6 0 ． 4 3 作 为缓冲 ， Pt / Ti / SiO / Si Mn Bi Na TiO － 层 在 2 衬底 上 制备 了准 同型相界 组 分掺杂 微 量 元 素 的 0 ． 5 0 ． 5 3 BaTiO 34 ， 、 、 、 ． : 3 薄膜 并对其相结构 微观形貌 铁电 介 电等性能进行 了研究 结果表明 该 薄膜具 ， ， ， 1． 15 × 10 － 1 C ·m － 2 ， 有纯钙钛矿结构 结构致密 显示 出良好的 电性能 其 中剩余极化 可达到 1 kHz下薄膜的相对介 电常数约 1000 ． : ; PLD; ; 关键词 无铅薄膜 介 电性 铁电性 : : : 中图分类号 TB 34 文献标识码 A 文章编号 1000-5137 (2012)06-0653-05 0 引 言 20 80 ， ， 、 从 世纪 年代至今 薄膜制备技术的迅速发展 引起了人们对于铁电压电薄膜在存贮器 微电 、 ， ， 子机械系统 高频微电子等领域中应用的浓厚兴趣 世界各国争相开展铁电压电薄膜的制备研究 应用 、 、 、 、 、 ［1 － 2］． ， (MPB) 领域遍及通信 传感 医疗 航天 机械 生物等众多领域 其中 组分位于准同型相界