结合无线传输系统之奈米碳网生医应变感测器设计与制作 - kuasedutw.pdfVIP

工程科技與教育學刊 第九卷 第一期 民國一○一年三月 第 29 ～37 頁 結合無線傳輸系統之奈米碳網生醫應變感測器設計與製作 謝昀修、黃世疇* 國立高雄應用科技大學 機械工程系 *E-mail : shuang@cc.kuas.edu.tw 摘 要 本研究以酒精催化化學氣相沈積（Alcohol Catalytic Chemical Vapor Deposition , ACCVD ）成長大面積的 奈米碳網，並以此材料製作可適用於生物體之應變感測器。研究中藉由國家奈米元件實驗室（National Nano Device Laboratories ，NDL ）的儀器設備，整合微機電製程技術，成功製作以奈米碳網為應變感測材料，高 分子材料--聚對二甲基苯（Parylene-C ）為其防水層與底層封裝結構之薄型應變感測器。在感測器測試方面， 利用拉伸實驗來觀察感測器的變化，並以實驗結果推算其感測器阻規係數。奈米碳網生醫應變感測器的阻 規係數平均為 4.28 左右，是一般商用的應變感測器的 1.8~2.0 倍。至於無線傳輸監控系統，是以無線射頻識 別系統（Radio Frequency Identification ，RFID ）為主要的構想去發展，利用晶片撰寫程式碼，控制整個模 組的作動，成功製作出可即時讀取資訊的無線傳輸系統，並記錄其內部數值。 關鍵詞：奈米碳網、阻規係數、應變感測器、無線射頻識別系統 1. 前 言 2003 年期間全美接受全髖關節置換手術人數約為 200,000 人次，其中約 60%的患者為 65 歲以上的老年 人；全美接受部份髖關節置換手術人數約為 100,000 人次，其中約 80%的患者為 75 歲以上的老年人 [1] 。2007 年，Kurtz 等人 [2]統計、推估出美國從 2005 年到 2030 年，接受髖關節置換手術的人數，將會成長 174% ， 達到 572,000 人次；接受膝關節置換手術的人數，將會成長 673% ，達到3480,000 人次。術後的持續醫療追 蹤需要感測器監控系統的協助。 2007 年 Shantanu 等人 [3]提出的研究發現，以多壁奈米碳管（Multi-walled Carbon Nanotubes ）作為壓阻 材料，可製作出阻規係數（Guauge Factor ）高達 8.6 的高靈敏度應變感測器。2009 年，Moss 等人 [4]把應變 感測器貼於骨板上，文中利用阻值的變化觀察骨頭復原狀況，並把應變感測器與無線射頻辨識系統（RFID ） 做結合，成功的達到即時無線監控系統。 植入式感測器遠端監控系統，著眼於老人居家照顧、術後即時監控方面，估計所帶來的商業市場將指 日可待。植入式感測器遠端監控系統，是利用植入式的感測器感測皮膚的拉伸、肌肉作動與骨頭的應變等 訊號，藉由讀取器再經無線傳輸的數值來判斷是否該部位遭受到過大的外力造成二次傷害。 本文無線傳輸的進行是選用無線射頻辨識系統（RFID ）的概念發展而來，其目的是結合植入式感測器 元件作為遠端監控與資訊傳輸，如圖 1 所示。 ©2007 National Kaohsiung University of Applied Sciences, ISSN 1813-3851 30 謝昀修、黃世疇 圖 1 植入式感測器遠端監控系統概念圖 應變感測器方面本研究放棄傳統的金屬材料作為壓阻材料，改以使用酒精催化化學氣相沈積（Alcohol Catalytic Chemical Vapor Deposition, ACCVD ）所成長的奈米碳網作為壓阻材料。研究中探討壓阻材料圖形 的不同與感測器靈敏度及線性度的關係，並以感測器結合 BASIC Stamp 微控制晶片與無線射頻識別系統 （RFID ）完成無線傳輸系統，如圖 1 所示。