砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计 - 杭州师范大学学报.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计 - 杭州师范大学学报.pdf

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砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计 - 杭州师范大学学报

第卷第期杭州师范大学学报自然科学版年月砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计钟浩明崔长彩余卿华侨大学机电及自动化学院福建厦门摘要为了实现对工件表面质量进行预测和控制对砂轮表面的三维形貌测量表征和评价就显得尤为重要设计了一款砂轮检测用白光垂直扫描干涉仪三维运动机台主要分为向位移平台部分砂轮旋转定位部分桥式立柱部分以及含有柔性铰链的向微位移系统部分通过有限元静动力学分析优化机台结构使其满足使用要求实现向位移平台单脉冲步长向精级机构行程精度关键词白光干涉仪有限元分析位移平台中图分类号文献标志码文章编号随着微纳米技术的发展现代机械制造检测信息技术材料科学等领域发生了革命性的变化迅速向微小化集成化超精密方向发展因此在前沿科学和工程领域对精密位移技术的需求与日俱增大行程高分辨率位移计量是精密位移平台的三个关键性能指标清华大学精密仪器及机械学系研制的亚微米弹性微位移工作台分别控制两个压电驱动器的变形获得方向和方向的微位移定位精度达到天津大学精密仪器与光电子工程学院也研制了类似的系统定位精度达到了磨削加工在机械加工隶属于精加工加工量少精度高对工件的影响体现在切削力磨削深度功率