接触式二维超精密量测系统之研发-科技部工程科技推展中心.pdf

行 精量 精 類 行 年年 行 立 劉 參理 林劉 理 利 年 年 行 精量 Practical Research on 2D Contact-type Ultraprecision Measuring System 94-2212-E-327-004 行94 年8 95 年10 劉 立 (FEM). The designed measuring probe is capable of achieving high flexibility of 20 精 mN/µm and large displacement of 459 nm. 量 精量 量 Together with PZT actuators and a laser 立量 50 mm 精度 interferometer, an ultraprecision measuring 0.1 µm量 年度 system having long range and sub-micron 量 order measuring system can be expected by 雷路 量 implementing control program in the 利 following works. FEM 立 Keywords: Ultraprecision measurement, 行 量 Flexure Hinge, Taguchi Method, FEM, PZT 度 20 mN/µm 量 Actuator, Measuring Probe 459 nm 來 雷 行精量 量 量 量 兩 精量 類 (Contact type) 量