激光干涉测长未对准误差分析-光子学报.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ２ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．２ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ２ Ｆｅｂｒｕａｒ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００２０３１１５ 激光干涉测长未对准误差分析 杨新刚，黄玉美 （西安理工大学 机械与精密仪器工程学院，西安 ７１００４８） 摘 要：分析了激光干涉测长原理，建立了测长光路中角锥棱镜的光线偏移模型及内部光程模型， 　 推导了忽略直线度误差及角度误差的未对准误差对定位误差测量结果影响关系的简洁表达式，进 行了定位误差的测定实验，给出了未对准误差的一种定量评估方法． 关键词：激光测量系统；未对准误差；定位准确度；角锥棱镜；误差分析 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０３１１ 　　　　 　　　　 ｇ ０ 引言 　 激光干涉仪作为数控装备准确度检测的常用手 段，具有检测准确度高、数据可靠及效率高等优点， ［ ］ 已列入机床检测方法的相关国际及国家标准 １２ ．然 而这种检测手段的测量准确性在很大程度上却依赖 于测量过程中各种误差诱因的减小或消除，在高准 ［ ］ 确度测量过程中尤其如此 ３５ ．定位准确度是数控 装备制造、调试及验收过程的一项重要质量指标，在 直线轴定位准确度激光干涉测量过程中，影响测量 准确度的原始误差可以分为以下两类：与环境变化 有关因素和与测量系统安装及光路调整有关因 ［］ ６ 素 对于前者中的系统性成分，在商品化的激光干 ． 涉仪测量系统中通常由集成在系统中的一个独立补 偿单元来进行修正；后者主要包括阿贝误差及未对 准误差 阿贝误差的修正可归结为将同一运动在某 ． 图 检测系统组成及工作原理 １ 一坐标系下的描述变换到另一坐标系下；未对准误 　 Ｆｉ．１ Ｃｏｎｆｉｕｒａｔｉｏｎａｎｄｗｏｒｋｉｎ ｒｉｎｃｉａｌｏｆ ｇ 　 ｇ ｇｐ ｐ 差是由于激光束与运动轴轴线之间的不平行所造成 ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｓｔｅｍ ｙ 的测量长度和被测对象实际移动距离之间的差异， 考光束和测量光束，并分别从固定反射镜和可动反 是激光测长过程中普遍存在的一种误差 激光测长 ． 射镜反射回来经分光镜形成一道干涉光束 测量光