谐振式 MEMS温度传感器设计.pdfVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 １８ ９ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．９ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ 　 　 　 ｇ ｇ ２０１０ ９ Ｓｅ ．２０１０ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ ２０１００９２０２２０６ 　 － － － 谐振式ＭＥＭＳ温度传感器设计 ， ， 马洪宇 黄庆安 秦 明 　 （ ， ） 东南大学 ＭＥＭＳ 教育部重点实验室 江苏南京 ２１００９６ ： ， 。 摘要 为了实现以频率输出为信号的气象温度测量 提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器 基于双悬臂梁 ， 不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理 采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的 ， 。 ， ， 检测 从而实现温度的测量 根据硅基传感器的正面腐蚀工艺 设计了谐振悬臂梁的双层结构 采用有限元方法分析了 、 ， 悬臂梁的谐振模态 可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系 并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行 。 ， ； 了研究 实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型 值相对于其它振型是最大的 其 值约为 高阶振型特别是二阶弯曲振 Ｑ Ｑ １５０ 型适合用于以 ， （ ／ ） ＺｎＯ为压电材料的温度传感器的频率检测 并且具有相对较高的灵敏度 约为２０ Ｈｚ℃ 和频率温度系数 （ －４／ ）。 ， ， 、 、 １．９×１０ ℃ 结果表明 微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求 并具有抗干扰能力强 灵敏度高 信号传输 接口简单等优点。 ： ； （ ）； ； ； 关 键 词 温度传感器 微机电系统 ＭＥＭＳ 频率测量 谐振 悬臂梁 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＰ２１２．１１