第1-2讲 电镜发展及电子光学基础.pptVIP

材料电子显微分析(Electron microscopy analysis of the material) 基本内容 1、电子显微镜发展及特点 2、透射电子显微镜 3、电子与物质的相互作用 4、透射电子显微镜成像原理及其应用 5、扫描电子显微镜 6、电子显微镜的成分分析 教材：电子显微分析 章晓中 清华大学出版社 2006 第一版 参考资料 1、材料分析方法，周玉 机械工业出版社 2006第二版 2、X射线衍射与电子显微分析 马咸尧 华中理工大学出版社 3、Transmission Electron Microscopy:A Textbook for Materials Science . David B.Williams. 清华大学出版社 4、金属X射线衍射与电子显微分析技术 李树棠 第1章：电子显微镜发展 (The development of Electron Microscopy) 利用电子与物质作用所产生之讯号来检测微区域 晶体结构(crystal structure， CS) 微观组织 (microstructure，MS) 化学成份(chemical composition，CC) 化学键结(chemical bonding，CB) 电子分布情况 (electronic structure，ES) 的电子光学装置。 1.1 光学显微镜的局限性（The limitation of optical microscope)  一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系.但光学显微镜的分辨本领有限. Airy斑半径（显微镜分辨率） 光学显微镜分辨率 （The resolution of optical microscope） 对于光学显微镜，当n?sinα做到最大时（n≈1.5，α≈70-75°）， 4）对于光学显微镜，可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 6） 电子的波长(The Wavelength of Electron Wave) （1）、电压较低时：电子运动速度VC（光速）, m=m0(电子静止质量) 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2）磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 二、电子在轴对称磁场中的聚焦作用 三、磁透镜的设计 电磁透镜成像 光学透镜成像时，物距L1、像距L2和焦距f三者之间满足如下关系 和光学透镜一样，具有物一像关系， 电磁透镜焦距大小： 电磁透镜与光学透镜一样，除了衍射效应对分辨率的影响外，还有像差对分辨率的影响 1） 球 差(Spherical aberration) 球差是由于电磁透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。 远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害的多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑， 这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性（内孔不圆，轴线错位），或极靴材料材质不均匀引起。 产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 衍射效应以外的影响因素： 1）、球差（不可消除）； 2）、像散（可消除）； 3）、色散（不可消除）； 5 电镜的景深和焦长 在保持像清晰度的前提下，试样在物平面上下可移动的距离, 即物平面允许的轴向偏差。 约为2000~20,000A 在保持像清晰的情况下，像平面上下可移动的距离，即像平面允许的轴向偏差。 约为：10~20cm。 1.4 不同型号电镜发展历史及应用 电镜发展历史（The Development of Electron microscopy) 主要生产厂家： 菲利浦（FEI）公司， 日本电子（JEOL）公司， 日立（Hitachi）公司、 德国（LEO）公司、 中科院科学仪器厂，等。 应用(Application) Ruska 于1986年获“诺贝尔物理学奖”，肯定了电子显微镜对材料学、生物病毒学等领域的革命性贡献。 E.M.1(1936) UM100(1950) Cambridge(1964) 加速电压20KV、40KV、80KV、160KV、200KV可连续设置加速电压热