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ofthe
24th
ProceedingsChineseControl
Conference
Guangzhou．P．R．ChIna
15-18，2005
．，uly
精密工作台扰动观测器设计及实现
杨开明，朱 煜，叶佩青
(清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所，北京100084)
E-mail：yangkaimin900@mails．tsinghua．edu．cn
摘要：针对直线电机驱动、气浮导轨支承的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点，
为了在较短的位置伺服周期内(110us)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响，
提高工作台的轨迹跟踪精度，采用了基于精密工作台名义模型的方法设计扰动观测器，构成PD
+扰动观测器的运动控制结构。通过实验，与没有扰动观测器的PD控制相比较，工作台静态
定位精度提高了0．51am，以120mm／s匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了3p,m。结果表明，
该控制方法计算量小，抑制外部扰动效果好，有利于工作台综合性能的提高。
关键词；直线电机，精密工作台，扰动观测器，运动控制
of for
DisturbanceObserverPrecision
Design Stage
Yu，Ye
YangKaiming，ZhuPeiqing
100084)
(Tsin曲uaUniverMty，BeUing
Abstract：The droved and
linear．motorsustained showsthe
preeisionstage by byai卜bearing
characteristicofzeromechanicalandweakanti．disturbance．Inordertoneutralizedisturbance
damping
introducedcableonthe and thethrustfluetuationofthe1inear．motorwithintheshort
by stage by
durationoftheservo the
enhance ofthe disturbanceobserver
cycle(110us)、to trackingaccuracystage．a
basedon modeliS inthe on
the nominal motioncontrolarchitecturebasedPD
precision proposed．result
disturbanceobserver，Inthecheck tothePDeontrolWithoutdisturbance
plus experjments．compared
observer．thestatic ofthe iS the iS
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