意一定要在压缩空气开启以后才能开启汞灯！.PDFVIP

NXQ4006 Mask Aligner 操作说明 （version 2015.2 ） 一、仪器使用前准备工作。 1．进入净化间前在隔壁罗强老师办公室后面开启风机。进入净化间后请签到。佩戴好口罩手套等 防护（光刻胶有毒性）。开启FFU 以及黄光灯。走廊也要开黄灯防止胶被曝光。 2 ．光刻机汞灯预热： （1） 开启CDA 压缩空气开关 （fig.1 ），检查气压是否正常 （fig.2 ）。 （2 ） 开启汞灯：如图fig.3 ，打开power 开关，按住start 按键（不要超过3s ）至汞灯功率有 显示，调节CP 下的旋钮至预设的功率（一般可使用300W 左右，不要超过350W ）。注 意：一定要在压缩空气开启以后才能开启汞灯！ Fig.1 光刻机后面墙上压缩空气开关 Fig.2 气压（约40psi ） 功率调节 Fig.3 汞灯电源。从右到左依次是电源开关power、汞灯功率调节按钮、汞灯开关start 。 上方显示的是汞灯的功率。 3 ．光刻胶准备：光刻胶存放于小冰箱内。现在公用的是 AZ1500 ，胶的参数见微加工实验室网页 （/images/Document/AZ_1500_Data_Sheet.pdf ），需要使用的组可 以申请领取，推荐存放于棕色小玻璃瓶。使用前用滴管取少量胶，等待其热到室温。刚取出来 的胶使用会影响曝光参数。 4 ．准备热板：开启热板，设好温度例如100 度，等待其温度恒定，备烘烤时使用。（左侧热板按P 后用上下键即可更改设定温度，设定完再按一次P，等待其跳回原来界面便已保存完毕。右侧热 板直接通过上下键更改设定。）见Fig.4 P 设定温度 Fig.4 热板。红字是实际温度，绿色为设定值。光刻通常用左边那个就可以。 5. 清洗样品： 一般用丙酮Acetone 、乙醇Alcohol(或异丙醇 IPA)、去离子水分别浸泡几分钟。在光学显微镜下 观察至表面干净。 6. 清洗掩膜版： 将掩膜版用酒精或丙酮轻轻擦拭干净，防止掩膜版上的灰尘在load 时沾到样品上。 二、涂胶。 7、匀胶 （1）参数设定：开启匀胶机 （fig5 ），确保CDA 压缩空气已经开启，并开启左侧桌子下的泵， 这样才能让匀胶机吸住样品。选好设定的program （未使用过的同学请在最后的program 设定，不 要随意更改他人参数）。见Fig6，“Edit Mode”键可进入编辑，设定转速（Rpm），时间（Time ），加 速度（Acel ）等，Step 可设定多步甩胶。编辑好参数进入 “Run Mode”。 （2 ）放置样品于橡胶垫圈上，点击“Vacuum ”，可吸住片子，此时“Vac ”值一般为 15-22 左 右。低于15 表示样品吸附不牢固，无法启动甩胶，需清理甩胶转盘。滴少量光刻胶，1,2 滴足以覆 盖住样品即可，盖上盖子，“Start ”启动匀胶机。匀胶结束，等转速降为零，点击“Vacuum ”取消 吸附，可取下样品。 开关 Fig.5 匀胶机 真空吸附 选择程序 运行参数 编辑参数 Vacuum 后 值应不小于 15 Fig.6 匀胶机菜单以及编辑界面 8、前烘：将涂好胶