等离子超长高精细线条制作工艺研究.pdfVIP

印制 电路信息 2012No．5 图形转移 Imaging 等离子超长高精细线条制作工艺研究 魏 国平 (器件科技公司印刷电路板厂，四川 绵阳 621000) 摘 要 影响等离子超长高精细线条制作的因素有很多，牵涉到所有工序，互相交错，关系复杂，需要一个系统 的工艺过程来研究该问题。丈中总结 了等离子超长高精细线条制作的工艺流程，以及各工序制造过程中影响超长精细 线条制作与普通线路制作 区别的关键控制点。在此基础上，研究明确 了主要制程各个加工步骤关键控制点的解决方 案，同时给出了这些关键控制点的工艺参数 、设备装置、药水调整等的技术细节。 关键词 电镀均匀性 ；深镀能力；电流效率；蚀刻因子 中图分类号：TN41 文献标识码：A 文章编号：1009—0096(2012)05—0039—03 Study0nthemanufacturingtechnology0fPDP super-llongnli●ghlt^inewi●res WEIGuo-ping Abstract PDPsuper-longfinewiresproductioninvolvesallprocesswhichaffectedeachother，with complexrelationandrequiresasystematicprocesstostudytheproblem．Thisarticlesummarizestheplasmaultra highfinelineproductionprocesses，andeachprocessinthemanufacturingprocessofsuperfinelinesaffecting generalproductionlineandthedifferenceinthecriticalcontrolpoints．Onthebasisofthisreserach，thisarticle madeclearthemainprocesswitheachprocessingstepofcriticalcontrolpointsinthesolution，andgivesthekey controlpointsofprocessparameters，equipment，medicineadjustmentandothertechnicaldetails． Keywords Platinguniformity；Deepplatingability；Currentefficiency；Etchingfactor 等离子系列印制板是我厂为集团公司虹欧PDP项 成立等离子超长高精细线条制作专案小组。专案小组 目提供的超长高精细线条特殊板。以等离子50寸扫 组织会议，通过鱼刺法、头脑风暴法等对等离子超长 描板、50寸A驱动板右板 、50寸A驱动板左板为例， 高精细线条制作 的整个制程按工艺流程梳理 ，研究各 单件最大尺寸分别达~U580mm和544mm，宽／间距为 工序制造过程中影响超长精细线条制作与普通线路制 0．1mm／1．25mnl，排线总长度超过600mm。并且其品 作区别的关键控制点。确定主要工序有一次铜、干膜 质要求远远超过 国家标准 、IPC标准等，给我们制程 图形制作、二次铜、碱性蚀刻、阻焊制作，又针对这 工艺提出了非常高的挑战。该系列板经过前期样品试 些工序 ，制定多种方案试验 ，并全程跟进 ，搜集数 制和小批量的制作，质量结果很糟糕，测试直通率平 据。在此基础上，研究明确了主要制程各个加工步骤 均在66％，有时不到40％，波动很大，合格率平均在 关键控制点的解决方案，同时给出了这些关键控制点 72％。具体难点体现如下：干膜图形转移返工率35％； 的工艺参数、设备装置、药水调整等的技术细节。通 碱性蚀刻连线、线细比