光掩模制造：集成电路产业的风向标——从凸版光掩模公司看产业发展.pdfVIP

EnterpriseI企业产·业 光掩模制造：集成电路产业的风向标 一 — 从凸版光掩模公司看产业发展 本刊记者／郭霞 光掩模制造是集成 电路产业链中工 Shanghai，简称上海杜邦)，是在2004年日本 在2005年的收购完成后，上海凸版光掩模有 艺、设备、管理技术要求最高，资金投入 凸版印刷收购了美国杜邦集团旗下的所有光 限公司成为上海新微电子公司(28％)与13本凸 比重最大的瓶颈工序。任何商业化的集成 掩模公司后重新成立的。成立于1802年的美 版光掩模有限公司(72％)共同投资组建的中 电路制造都离不开光刻掩模版这一核心产 国杜邦公司，从制作炸药起家，经过200多 外合资企业专业生产和销售光掩模(Photo— 业。硅片光刻技术中光掩模制造业的快速 年的持续经营，其产品已经涉及到了许多的 mask)及提供相关服务。总投资达2600万美 发展是集成 电路行业长盛不衰的关键。上 领域。上个世纪80年代，杜邦公司发现集成 元，成为了凸版集团占领中国光掩模市场的 海凸版光掩模有限公司作为最早进入中国 电路产业外包正处于发展的井喷时期，于是 前沿，担负着公司进军中国市场的任务。 的专业制造光掩模的工厂’具有行业领先 毅然于l986年组建杜邦电 虹业发展中心， “公司在 中国半导体行业刚刚起步的 者的优势，通过多年的努力，已逐渐成为国 同年决定成立杜邦光掩模有限公司，投身 时候进入中国市场，以较小的投资建立光 内光掩模-静】造业的佼佼者。 这一制约集成电路产业发展的前沿技术领 掩模制造工厂来跟随中国集成电路制造业 域。经过多年的努力，杜邦光掩模有限公司 的发展，这种策略不但能了解并占领中国市 凸版光掩模的前世今生 已经在世界各地建立了多个光掩模制造工 场，更能抢在强大竞争对手到来之前开发这 我 国的光掩模制作始于60年代中期， 厂 并成功地在NSDACJ~市，成为了集成 电 片处女地。”上海凸版光掩模有限公司总经 比国外晚5～6年。当年采用传统的照相术及 路产业的风向标之_。 理刘钢告诉记者。 手摇光刻机开展工作，硅片材料只有1英寸一 中国集成电路制造业 的技术水平在80 2英寸，制版光刻精度和特征尺寸为几十微 年代末期落后世界集成 电路发展整整近 光掩模产业应得到更多的重视 米。利用当时的掩模制作工艺，先后成功地 l0年时间。此时，在发展的过程 中的杜邦光 “光掩模产业与Ic设计和Ic制造都有 研制出硅平面晶体管和硅数字集成电路。近 掩模逐渐认识到，集成电路不单是发达国 十分紧密的联系。中国半导体业界早期大力 年来，我国的光掩模制造业能够满足国内中 家的经济增长点，它也必将成为世界经济发 扶持Ic制造企业，后来出于对核心技术的重 低档产品市场的需求，而高档光掩模则由国 展的领导和支柱产业。作为长期的竞争战 视，又相当关注Ic设计，而光掩模产业却始 外公司直接提供。国际上普遍采用电子束曝 略，要在市场 占有率上具有持续领先的优 终没有得到足够的重视。”刘钢呼吁政府能 光设备进行规模化生产，而我国只有2～3家 势，就—定要进入发展中国家的市场。于是， 更多的关注光掩模环节，以确保中国半导体 单位拥有电子束曝光设备，其他单位还在使 1994年，杜邦公司于与上海新微电子有限公 产业健康、快速地发展。 用光学曝光设备。我国政府充分认识到其重 司共同投资1600~美元成立上海杜邦光掩 据了解 ，半导体产业共分为三大部分， 要地位，制定了借助外资快速启动这一项目 模有限公司，开始了在中国的市场开拓。 分别是分离式元件制造，光电半导体制造， 的对策，帮助国内集成电路工业提高了生产 虽然杜邦光掩模不断在世界各地建立 以及集成电路制造 (Ic产业 )。随着时代的 能力，提升了技术档次，减少了