视保屏减反射膜系的设计.pdfVIP

维普资讯 第 笠 卷 第 2期 电千器引 vd 22 NO 2 t999年6月 Toum ( Ell l lr I W0 Ju ，1999 ． 文章编号 ；i005—9490(1999)02—0099一i03 I 引 言 90年代 以来 ，随着个人 电脑 的进一步普及 ，对 电脑显示屏减少 眩光 、消除静 电的要求也 愈感迫切 。在可见光谱范围内，普通玻璃的反射率达到 8．4 。显示器玻璃屏面反射外来光 (包括 自然光与灯光)产生的亮斑会影 响图象的对 比度 ，并使操作者容易产生视觉疲劳 。人们 开 始尝试在玻璃上镀制减反膜和 导电膜 ，以解 决这 些问题 ，并称之 为电脑枧保屏。较高级 的 视 保屏还 镀有 紫外线隔断膜 ，光 线分 离作 用膜 ，以提高 图像 对 比度和 消除紫外线与软 X射 线对电脑操作者的伤害 。在 电脑枧保屏的的实际生产 中，要求成膜面积太 ，均匀性好 ，成膜速 度 快 ，以获得性价 比高 的产 品。对 于上述要求 ，传统的镀膜技术难 以满足 ，因此用计算机辅助 设计并采 用近 年来发展起来 的脉冲磁控 溅射 技术镀制太面积优 质减反膜成 为一个 新 的课 题。本文着重介绍视保 屏减 反射膜 系的设计 ，对 引入 消除静 电的导电膜后 的膜 系设计 也作 了 一 些探讨 。 2 减反射膜系的程序设计 根据 Macleod理论 ，通过引入膜系光学导纳 y，可求得膜系 的反射率如下 ： 砌)一( )(黼 )* 其中7o为人射介质的修正捉学导纳。 在膜 系设计 中，通常需要 建立 一个评价 函数对膜系质量进行综台评价 。评 价函数是膜 系 光学性能的结构参数 的函数 ，这些结构参数包括 ：(1)各层膜 的几何厚度 d ，d2，… ， (2) 入射介质 、各层膜和基底 的折射率 。，，，n，…， (3)光波入射角 和评价 的波长范 围 作者采用 脉冲磁控溅射工艺在玻璃上镀 导电膜和 宽带减 反膜 以制备枧保 屏时 ，考虑到 @ 收藕 日期：i998一i2-09， 维普资讯 100 电 子 嚣 件 第 22喜 薄膜 的折射率、膜层 的牢 固度与耐磨性 、溅射工艺 的可行性 、靶材的价格等等 因素 ，选用 了 ITO靶溅射制备 ITO 透 明导 电膜 ，取其折射率 m=2．0O；选用钛靶反应溅射 制备 TiO 膜 ，取其 m，=2．35；选用硅靶反应溅射制备SiO 膜 ，取其 ∞ 一l_46。此外取空气 的(入射 介质)o=1．。O，基底玻璃的 —l_52。也就是上述评价 函数 中的各个折射率值均 已确定 。 由于人眼对小于 450nm 和大于 660nm 的光波敏感程度很小 ，450nm 处 的明视觉光谱 光效率 函数乘积值为 0．4192，660nm处 的相应值为0．4612，而 550D．ITl处 的相应值则高达 9．8077，因此我们选取评价函数中的波长范 围为 450~660am。此外 ，膜系设计 中选择 光波 入射 角为 0。。 因此 ，在膜 系设计 中作为评价 函数 中的变量只剩 下各层膜 的几何厚度 。 膜系tl动设计采用 “彻底搜索法”及最大偏差型评价 函数 。这种评价 函数 由所选波长上 反射率偏差最大值构成 。在膜系搜索 中，满足评价 函数所要求 的膜系可能不止一个 ；对于这 些膜系 ，从平均反射率和反射率均方差两方面再进行评价从而确定最佳膜系。 程 序设计框图