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第35卷第1期 应用光学 V01．35No．1
2014年1月 of
Journal
Applied0ptics Jan．2014
文章编号：1002—2082(2014)01一0150—05
飞秒激光湿法刻蚀微纳制造
陈 烽，杨 青，边 浩，杜广庆，柳克银，孟祥卫，邓泽方，山 超
(西安交通大学电子与信息工程学院，陕西西安710049)
摘要：飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术，在复杂三维构型制作方面具有其独特的
优势，但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用，提出一种飞秒
激光湿法刻蚀微纳制造方法，以提高飞秒激光微加工的效率为突破口，通过调控激光与物质相
互作用获得材料的目标靶向改性，进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维
微加工，采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80肛m，球冠高6．7肚m，表面粗糙度小于10nm。
利用这种方法，实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备，在石英内部也实现
了螺旋微通道的复杂三维结构，螺旋通道直径为20雎m，长径比超过100。
关键词：飞秒激光；微纳制造；湿法刻蚀；微透镜；微通道
中图分类号：TN249 文献标志码：A doi：10．5768／JA0201435．0107001
IⅥicro·nanofabricationoffbmtosecondlaserwetetch
CHEN Hao，DU
Feng，YANGQing，BIAN Guang-qing，LIUKe-yin，
MENG Chao
Xiang—wei，DENGZe-fang，SHAN
(SchoolofEIectronicandInformation
Engineering，Xi’anJiaoTongUniversity，Xi’an710049，China)
recent femtosecondlaserbecomesa tooltofabricate3Dmi—
Abstmct：In
years，the promising
crostructuresfortheir in microfluidicsandbiofabrication．、厂arious
applicationsmicro—optics，
for microstructures
femtosecond-1aser-basedhavebeenused
processes machininghigh—precise
with However，the ofthefemtosecondlasermicro—fabrica—
arbitraryshapes． efficiencyproblem
tionhashinderedits Herewe a maskless
practicalapplications． presentsimple，high—efficient
microstructureson afemtosecondlaserwet
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