掠入射X射线衍射基本原理与数据解析.PDFVIP

掠入射 X 射线衍射基本原理与数据解析 张吉东、莫志深 中国科学院长春应用化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室 1 掠入射 X 射线衍射的原理 1.1 X 射线折射率及全反射 1.2 X 射线反射率（XRR ） 1.3 掠入射 X 射线衍射（GIXRD ） 2 掠入射 X 射线衍射的测试方法 2.1 Rigaku SmartLab 衍射仪的测试方法 2.2 同步辐射的测试方法 3 掠入射 X 射线衍射数据的分析方法 3.1 X 射线反射率数据求解薄膜密度、厚度、粗糙度 3.2 掠入射 X 射线衍射数据的分析 *e-mail: jdzhang@ciac.jl.cn 1 掠入射 X 射线衍射的原理 掠入射 X 射线(Grazing incident X-ray)技术是一种新颖的测试薄膜的技术，它 是指以测试时 X 射线以很小角度入射到样品表面，几乎与样品平行。在测量时 一般有两种模式：对称偶合模式和非偶合模式。前者测试时入射角与反射角同步 等步长增加，亦称 X 射线反射率(X-ray Reflectivity， XRR) 的测量，常用于测量 薄膜的密度、厚度、粗糙度以及密度分布等信息。后者测试时入射角不变，探测 器在大角区扫描测量衍射信号，亦被称为掠入射 X 射线衍射(Grazing incident X-ray diffraction ， GIXRD) ，常被用来表征薄膜的结晶性信息如晶型、取向、结 晶度、微晶尺寸、微晶的层序分布等。 图 1 掠入射和出射 X 射线衍射几何 1.1 X 射线折射率及全反射 设具有平面波特征的电磁场，在点 r 处的电场强度为 E (r ) E exp(ik =⋅r ) 。 0 i 该电场强度在介质中的传播特性可用 Helmholtz 方程表示 2 2 ΔE (r ) +k n (r )E (r ) 0 (1) 2π 这里，k k ，k 是波矢；λ是辐射线波长；n(r) 是位于 r 处的折射率， 对 λ 于均匀介质， n(r) 是与位置无关的常数。 如果具有谐波振动的介质在单位体积内含有 N 个原子，谐振频率为ω，则 i n(r) 为 2 e2 N f i n (r) 1+N ∑ 2 2 (2) mε0 i 1 ω −ω −2iωη i i 式中:ω是入射电磁波频率；e 和 m 分别为电子的电荷和质量；η 为阻尼因子； i ƒ 为每个原子的电子强迫振动强度，通常为复数。对 X 射线，ωω，则式 (2) i