Touch_Panel_双面SiO2镀膜介绍.ppt

Touch Panel 双面SiO2镀膜 Touch Panel 产品介绍 * * Touch Panel 产品介绍 双面SiO2镀膜前准备 双面SiO2镀膜作业 双面SiO2镀膜品质缺陷 背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。 构造：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。 F面SiO2 F面ITO层 玻璃 R面ITO R面金属层 R面ITO层 双面SiO2镀膜前准备 双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性，需要用到两种特殊用品。 镀膜特殊用品介绍： 金属Mask及铜磁背板。 双面SiO2镀膜前准备 金属Mask 金属MASK分两种，F面金属MASK间隔条为凹状，R面金属MASK间隔条为凹状 双面SiO2镀膜前准备 金属Mask R面金属MASK F面金属MASK 双面SiO2镀膜前准备 铜磁背板 铜磁背板没有镙孔面与玻璃基板接触 双面SiO2镀膜作业 将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意F/R面MASK不要用错） 双面SiO2镀膜作业 将基板置于金属MASK上，必须避免基板在金属MASK上的滑动（注意基板待镀面朝下，大角与金属MASK错开） 双面SiO2镀膜作业 基板对位标 金属MASK对位框 OK NG 手动对位 双面SiO2镀膜作业 在监视器上确认基板与金属MASK对位是否在规格内（基板上有四个“田”字型对位标，与金属MASK上对位方框对位） 双面SiO2镀膜作业 将铜磁背板置于基板置于基板上，必须避免基板在金属MASK上的滑动 双面SiO2镀膜作业 将组合好的待镀品置于待镀品区域 双面SiO2镀膜作业 将待镀品挂上框架（注意金属MASK不能有翘曲） 双面SiO2镀膜品质缺陷 主要品质缺陷 ※电子击伤 ※金属层划伤 ※SiO2掉膜 ※ SiO2打弧 ※粉尘、污染 双面SiO2镀膜品质缺陷 电子击伤：ITO层在镀膜时被击伤，外观检查时呈一条黑线 双面SiO2镀膜品质缺陷 金属层划伤：在镀膜时三明治结构出现错位，造成金属层的划伤 * * *