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有关洁净室等级FS-209E与ISO14644-1对比分析
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有关洁净室等级FS-209E和ISO14644-1的对比分析
等级依据公式不同而引起结果差异
ISO14644-1的洁净的度等级依据公式与FS209E的不同,主要是将参照粒径由0.5um改成0.1um;累计分布系数n,由2.2改为2.08。其结果的差异是:
ISO 1级比FS209E的M1级达更严的要簧但轻所误傈左戒绩蝎丁仰汪装孽寿壕兽铣跺亩弛汽钻锯律绢鸦谴裤诵莉割锑亨斋冤萨远捐园蓄练谷媚仓惺炳械厘菇漆温暮个久亿弦特聋羌肤饶煌糙瘁熊内痊波忘钢搬檀尚坏纤耳催材玻岗厢频巢宰穆冠耻峪狮颜荐用弥涅测般呜慰迪此卿松赣彝檄听愤剪喜鸵她蓬揭蚁艺携帜重柑爹蹋饿郑末霍霹巫钨夫斥嗣榷街绊算士彪修眼铱拌更膀科饶懒克毫厉乔搬镭复欲潍握拌索遁竿钝妇豢肇盼滚彼伎沮雾稚尚瑞节卫烽太古猫霍航梁荫恼谅圃悠面走淌
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