均匀照明系统的设计与应用.pdfVIP

维普资讯 4期 咒 学 仪 器 12卷 均 匀 照 明系 统 的设 计 与 应 用 陆汉 民 (上海光学挺器研究所 ) 提 要 本文对提高光学系统照明均匀性问题进行 了详细的研 究，提 出了多种改善照明均匀性的 光学系统设计方案，列举 了有关压用方面的问题。 一 、 日U 茜 随着科学技术的发展及新兴产业的出现，对光学仪器的要求也越来越高，不仅要求或像 清晰、色还原性好，而且要求很均匀的光强分布。如在光谱仪器中，狡缝照明的好坏会直接 影响到谱线强度的分布，因此，要求狡缝整个面积都应得到均匀的照度 (各 点 的 照 度 一 致 )。在近代 电子工业 中，为了生产高质量的大规模或超大规模象成电路，在光劐中，要求 有±2 ～±5 的均匀性束照明工作表面 较大的不均匀性都将导致集成电路线条尺寸的 变化，甚至造成撤废。在空间技术领域，为了使飞行体绝对可靠地在太空中飞行，在地面需 要预先对飞行体进行太 阳辐射的模拟试验。对太 阳模拟器的光照均匀性在大面积 内需达到± 5 左右的要求 激光技术的发展与应用领域的扩 犬，有时要激光照明系统能提供高均匀的 相干照明。 过去，在设计一般光学仪器的照明系统时，常采用传统的柯勒照明或i临界照明系统。州 一 些光强分布要求不高的系统，为了简便起见，常在照明系统中加入磨砂玻璃或乳 白玻璃， 使照明均匀化。但这种措施羽太视场，光强度高、光照均匀的系统来说，显然 已不能适应， 需要寻找薪的设计方案和照明系统。 近年来，虽然国内外电子工业迅速发展，在如何解决光刻机的光照均匀性方而傲了不 少工作，也有较多报道，但多偏重于某个侧面，没有对实现均匀照明系统的设计方案作详细 探讨或介绍。因此，笔者想根据 自己以往所做的工作 以及 国内外 已有报道作一分析及介绍。 二，改变照度分布的可能性 在分析光学系统照度分布肘知道，一般的照明系统所产生 的照明结果，常常显中问比较 亮，而边缘比较暗。即使是物面的亮度是均匀的，且物平面上的每一点均以充满系统入瞳的 一 32— 维普资讯 {船 光 学 仪 器 lz卷 光束 (即轴外点光束无渐晕存在 )成象，那么在象面上，轴外点的照度 由轴上点的照度再乘 上该点象方视场角的余弦四次方来确定 [1 。即： E∞ =E0COSu 式 中： 一一象方视场角 E。一一象方轴上点的照度 如用；刷阿视场角对上式进行计算， 么 ，就可得到照度分布曲线。 显然，常规的照明系统，如柯勒照 日』]系统，只能在视场很小的系统中使用，而在要求视 场大，照度均匀的照明系统中将受到限制。：但我们可 以采取这样的办法，能否把几个照明系 统或几个光源按一定的要求进行排列，使照度分布 曲线 中照度高 的那部分与另一照度分布曲 线 中低的部分相对应，使它们合成后 的照度分布不超过某一规定 的范 围 (如 图 1)。 圈 1 照虚分布的台成 图 2 光源岫多孔扳成像 在实践 中，要想实现这种理想的排列还是有很多可能的方案。最简单的一种就是在单个 光源之后安放一个多孔板，这样在离多孔板某一个距离的屏幕上得多个分离而又是独立的光 源象 (如图2)。且孔越多，分离的光源象也越多。通过许许多多光源象的相互迭加可以得 到 比较均匀的照度分布。 如果茌上述所得光源象群的后边，再放一个与前述相 同数的多孔板时，那么在孔板后将 得到的光源象正好是小孔数的平方倍 。从而使更多的光源象进行迭加，得到更加均匀的照度 分布。这种照明方式被称为多点照 明。 f述的小孔