半导体制程元件模拟试验室.PDF

半導體製程元件模擬實驗室 q 實驗室特色目標 本實驗室目標在建構適用技職體系學生對半導體元件與製程模 擬之實習平台 。先期購置 SILVAC 之 ATLAS 及 ATHENA 兩套軟體 ， ATLAS 為元件模擬的軟體。它可以提供半導體元件三度空間的模擬 結果，除了提供以矽為材料之元件模擬外，對III-V 族、II-VI 族及 IV-IV 族之半導體材料所製作的同質或異質結構的元件皆可利用此套軟體 模擬 ，了解各種半導體元件之特性 。ATHENA 為半導體製程模擬軟 體 ，它可以提供半導體製程之二度空間的模擬結果 ，除了一般 IC 製 程之模擬外 ，對 GaAs 、SiGe 等製程亦可模擬 ，以得到最佳化的結果 。 此實習配合學生之前所修習的半導體元件及 IC 製程課程 ，如此可讓 學生更加熟悉目前業界所使用之半導體元件之特性及製造之流程 ，進 而加以設計調變元件及製程參數 ，以獲得最佳化的結果 。 q 現有設備 設 備 名 稱 單 位 數 量 備 註 個人電腦 台 30 ATLAS 套 1 ATHENA 套 1 q 開授課程 半導體元件與製程模擬實習 q 授課學制 大學部四上 q 設備外觀圖 實驗崗位設備配置圖 教室設備配置圖