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JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统研制技术 The Techniques of the JBQ-3200 Metal Lift-Off System.pdfVIP

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JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统研制技术 The Techniques of the JBQ-3200 Metal Lift-Off System

团蔓星蚤耋:呈型窒氢錾呈錾 皇王剑遣塑鱼自塾丝婴窒 JBQ一3200型全自动金属膜剥离 清洗系统研制技术 陈仲武,宋文超,祛伟锋,刘永进 (中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601) 摘 要:主要介绍了mQ.3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能 指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在O.25~O.7 mrn的+100~ 0200 miil具有基准边的标准圆片微细图形金属膜剥离、清洗和甩干工艺,剥离线宽能做到 0.35 进封装等器件制造工艺中的关键设备。 关键词:金属膜剥离;自动传输系统;剥离清洗腔体;CCD中心定位;电气控制;软件系统 中图分类号:TN305 文献标识码:B The ofthe Metal Lift-Off TechniquesJBQ-3200 System CHEN Zhongwu,SONGWenchao,ZHANG Weifeng,LIUYongjin 45thResearchInstituteof 1 1 060 (The 1,China) CETC,Beijing Abstract:In this AutomaticMetalLift.0fr iS its Paper,themQ一3200 Systemintroduced,including and functions,usage,structure,performanceparameters,maincharacteristics,key techniques AutomaticMetalLift一0ff canbeusedinmetal1ift—off applications.TheJBQ-3200 System process, waferclean forwafer nln-i andwafer 0.25~O.7 inthicknessand100~200mlTlin process dryingprocess diameter.The canreacha linewidth0.35 AutomaticLift.Ofr system peeling Ixm.TheJBQ一3200 Metal iSa machinewhichcanbeusedinthe ofSAW device,GaAsmicrowaveand Sys

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