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普莱克斯(上海)电子气体有限公司委托上海环科环境评估咨询
上海环境热线
普莱克斯(上海)电子气体有限公司委托上海环科环境评估咨询
有限公司开展对华力 12 英寸先进半导体生产线配套大宗气体项目
(以下简称“本项目”)的环境影响评价。现根据国家及本市法规及
规定,并经普莱克斯(上海)电子气体有限公司同意向公众进行第二
次信息发布,公开环评内容。
本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段,将在听取公众、专家
等各方面意见的基础上,进一步修改完善。
2
上海环境热线
(一)建设项目概况
1、建设项目的地点及相关背景
根据“上海华力集成电路制造有限公司12英寸先进生产线建设项目”的用气
需求,普莱克斯将发挥专业公司优势,采用目前国际先进的大宗气体生产技术,
为华力康桥工厂提供稳定优质的气体供应服务;普莱克斯此次投资装置均按照华
力要求进行建设,所生产的产品也全部供应给华力。
本项目为华力供应的气体包括:普通氮气(GN2 )、高纯氮气(PN2)、一般
氧气(GO2)、高纯氧气(PO2)、高纯氢气(PH2)、高纯氦气(PHe)、高纯氩气(PAr)、
高纯二氧化碳(PCO2)、压缩干燥空气(CDA)、纯化干燥空气(XCDA)等。
项目位于上海浦东康桥工业区南区A03B-05地块,基地北至古博路,东至良
虹路,西侧和南侧均为上海华力集成电路制造有限公司。
2、建设项目概况
项目建筑包括:工厂维修车间(含办公楼,1F)、压缩机厂房(2F ,主要
为氮气供应系统和压缩空气供应系统)、润滑油厂房/ 固废间、消防泵房等。
项目组成包括主体工程、公用工程、辅助工程和环保工程等。主体工程包括
各气体生产线,辅助工程包括办公楼、分析房等;公辅设施包括供水、供电等;
环保设施包括废气处理、废水收集和处理、固废暂存以及噪声防治等。具体内容
见表1。
表1 工程特性表
序号 类别 名称 内容和规模 备注
制氮机制备氮气(2*9500Nm3/h ),纯化后供应
一般氮气
3 3 新建
峰值流量12000Nm /h ,平均流量10000Nm /h
(GN2 )
液氮储罐备用(2000m3 )(一般氮气和高纯氮气共用)
制氮机制备氮气(2*9500Nm3/h ),纯化后供应
高纯氮气
3 3 新建
峰值流量10000Nm /h ,平均流量9000Nm /h
(PN2 )
液氮储罐备用(2000m3 )(一般氮气和高纯氮气共用)
3
主体 一般氧气 中压(1.2MPa)的低纯液氧储罐(100m )
1 新建
3 3
工程 (GO2 ) 峰值流量600Nm /h ,平均流量520Nm /h
3
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