原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
腐蚀时间对蓝宝石衬底上外延生长GaN质量的影响-发光学报
31 5 Vol31 No5
2010 10 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Oct. , 2010
: 2010) 05062 0
腐蚀时间对蓝宝石衬底上外延生长 GaN质量的影响
赵广才, 李培咸, 郝 跃
( , 710071)
: KOH c,
, GaN
X ,
,
: ; ;
: O 8 1 PACS: 68. 55. Jk; 72. 80. Ey PACC: 6855; 7280 : A
[ 7] [ 8]
1 引 言 [ 9]
, ,
, ,
[ 10]
GaN
, ,
, ,
,
[ 11]
,
GaN,
GaN GaN
3. eV,
2 实 验
, c ( 0001)
, 5. 08 cm
2 0~ 300 KOH 20, 0 m in,
[ 1, 2] A B
, GaN
10 m in
[ 3~ 6]
, ,
GaN
, (MOCVD)
3
GaN 5. 3 10 Pa
, GaN ,
,
: 2009082 ; :
: (
: ( 198 - ), , ,
Em ail: caica i503@ 163. com
5 , : GaN 625
2-
( 1 0 0 ), O ,
620 ,
9 0 15 m in
GaN, A B
! /∀, , ( 0002) ( 1012)
2. 5 ,
文档评论（0）