喷雾清洗中微颗粒受到流体作用力的研究 numerical study on hydrodynamic forces for micro particle detachment by droplet impact.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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喷雾清洗中微颗粒受到流体作用力的研究 numerical study on hydrodynamic forces for micro particle detachment by droplet impact.pdf

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喷雾清洗中微颗粒受到流体作用力的研究 numerical study on hydrodynamic forces for micro particle detachment by droplet impact

第29卷第6期半导体学报 V01．29No．6 2008年6月 JOURNALOFSEMICONDUCTORS June，2008 on ForcesforMicroParticle NumericalHydrodynamic Study Detachment DropletImpact’ by SunZhenhail’2’3，’andHan Ruijin2 (1 Institute and 200050·China) InformationTechnology，ChineseAcademyofSciences，Shanghai Shanghai ofMicrosystem (2GraceSemiconductor 201203，China) ManufactureCorporation，Shanghai (3Graduate theChinese 100049，China) Universityof AcademyofSciences，Bei]in8 theresultsofanumerical ofmicro-sizexiremoval Abstract：This investigation particle bydropletimpact． paperpresents fluid simulationisusedtocalculatetheflowdistributionof onaflatsurface．The impact Computationaldynamics droplet forcesexertedonthe arethen factors removalarediscussed． hydrodynamic particle computed．Keycontrollingparticle and surfacesareconsidered．Theflow thefront Both distributions，especiallyedgeexpandingupon hydrophilichydrophobic onsurface associated forcesonthe ac。 at particlesvary impactmicroscale，stronglydepend wettability．Thehydrodynamic ona