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34 10 第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2014 10 CHINESE JOUＲNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年 月 1097 NaCl VC 结构 薄膜生长过程中原子迁移的 第一性原理研究 1，2* 1 1 2 2 2 2 孙士阳 徐平平 刘学杰 尚海龙 张安明 马冰洋 李戈扬 (1． 内蒙古科技大学 包头 014010 ;2 ． 上海交通大学金属基复合材料国