铁电微阵列的afm图像及电滞回线测定 afm image and hysteresis measurement of ferroelectric arrays.pdfVIP

第25卷第4期 电子显微学报 Vol_25．No．4 2006年8月 ofChine∞EIectmn 2006．8 Jo啪al Micr惦∞py Socie锣 文章编号：1000—6281(2006)04．0337．04 铁电微阵列的AFM图像及电滞回线测定 卫2 赵高扬1，张卫华1，邓小翠1，徐国敏1，赵 (1西安理工大学材料科学与工程学院，陕西西安710048； 2中国科学院西安精密光学机械研究所，陕西西安710068) 摘要：铁电阵列在红外探测器、非挥发性存储器中具有重要应用。随着大面积、微格点铁电阵列制备技术的发 展，评价亚微米、甚至纳米级微小格点的铁电特性对于铁电器件的设计和制造具有重要意义。本研究将铁电仪和 扫描探针显微镜相连，在扫描探针显微镜的AFM模式下，采用带有导电涂层的探针，通过扫描获得铁电阵列的三 维像。据此图像，可以把探针定位于特定的微小格点上，由铁电仪通过AFM探针提供电压，并经探针悬臂梁将测 试信号反馈给铁电仪，在无顶电极的情况下就可以获得微小铁电格点的电滞回线。 关键词：铁电薄膜；阵列；电滞回线；原子力显微镜；铁电分析仪 中图分类号：’rB34；0484．5；0441．5；TM936．3；TH742．9文献标识码：A 铁电材料是一种重要的功能材料，具有优良的 在本论文中，我们探讨了在AFM模式下，借助 铁电性，压电性和热释电性等，在微电子、光电子等 于外接铁电分析仪，直接测定铁电阵列微小格点的 领域有着广泛的应用前景。微细图形化薄膜的铁电 电滞回线，并验证了AFM与铁电仪联用测试微米级 特性，直接关系到铁电元器件的品质。近年来，随着 微区铁电性的可能性。此方法的优点在于操作简 集成铁电技术的发展，新的微细加工技术已可获得 单，不损伤样品，多功能性(成像和性能测试同时进 亚微米，甚至纳米尺度的微细图形。传统的铁电分 行)，与PFM法相比可直接获得电滞回线。 析仪难以评价纳米尺度薄膜的铁电特性，因此需使 1实验的基本原理 用纳米尺度的检测技术。其中，原子力显微镜 (AFM)是一种合适的研究工具。最早利用AFM研 究铁电薄膜的是1990年美国IBM实验室的 force saurenbach等人，他们利用EFM(electric (aixAcCT，TFAnalvzer2000)按照图1连接，铁电分 IIlicmscopy)测量铁电薄膜表面的极化大小及极化方析仪的顶电极接口利用导线经过AFM支架和探针 向…，1992年，德国的Guetllner等利用压电效应 连接，底电极通过样品台和试样的底电极相连，探针 (piezoelectdceffect)测量了铁电高分子薄膜表面极化 采用镀有铬／铂两层金属的导电探针(S． 特性拉J。目前，有关纳米级材料铁电性能的研究，主 force 要利用基于扫描力显微镜(scanningmicmscope， f蕊e sFM)的压电响应力显微技术PFM(piezorespone 为3．4nm，厚度3“m。 microscope)来分析研究铁电微区的