透射电子显微镜单色器的发展及应用 development and applications of monochromator in transmission electron microscope.pdfVIP

第28卷第1期 ’电子显微学报 V01．28，No．1 2009年2月 ofChineseElectron 2009．2 Journal Society Microscopy 1 文章编号：1000-6281(2009)0]一0082．i 透射电子显微镜单色器的发展及应用 周瑜升，王荣明。，商广义，姚骏恩 (北京航空航天大学理学院，北京100191) 摘要：自1932年透射电子显微镜发明以来，透射电子显微学在基础理论、仪器研制及其在材料科学、生命科学等 领域的应用得到了迅速发展，200kV场发射枪透射电子显微镜的点分辨率已迭0．19—0．25rilll，能量分辨率为O．7一 1．0eV。进一步提高透射电子显微镜性能的关键在于降低物镜球差和电子束能量扩散等。球差校正嚣的发明使透 射电镜的点分辨率已突破0．1nm，电子源色差已成为进一步提高电子显微镜信息分辨极限和电子能量损失谱能量 分辨率的瓶颈。在场发射枪透射电子显微镜上增加单色器(能量过滤器)可有效降低电子束的能量色散，减小色差 时电子显微镜性能的影响。本文介绍了Wien型、Q型及Mandoline型等几种常见的能量过滤器的工作原理、结构、 性能及其应用。 关键词：透射电子显微镜；单色器；能量分辨率；点分辨率；信息分辨极限 中图分类号：TNl6文献标识码：A 自1932年第一台电子显微镜(简称电镜)诞生 1 色差对电镜分辨率的影响 以来，电子显微学的主要奋斗目标就是力求观察更 微小的物体结构、更细小的实体、甚至是单个原子， 目前，200kV场发射枪透射电镜的信息分辨极 并从试样上获得更多的信息，以便对它进行综合研 限已接近0．1nm，它主要由场发射电子源的空间相 究¨J。现代高分辨分析电镜要求能够得到物质的原 干性和时间相干性导致的衰减包络函数限定，而场 子结构、化学组成、局部电子状态的细致信息，解释 发射电子源的空间和时间相干性则分别取决于电子 材料宏观性质(功能)与其微观结构的关系。为了得 束的会聚角和色差。理论上，使用小的照明孔径可 到原子间结构信息和物质中原子非周期结构的细节 以减小电子束会聚角。对现代普遍使用的具有足够 nm 亮度的场发射枪而言，电子束在成像模式时的会聚 信息，电镜必须具备o．2eV的能量分辨率和0．1 的(空间)分辨率怛“J。 角很小，特别是用于成像的电子束中心部分，由电子 场发射枪透射电镜由于其极高的空间相干性和 束会聚造成的衬度传递函数衰减远小于色差的影响 时间相干性。以及形成透射电镜高分辨像过程中特 而可以忽略。此外，20世纪90年代，中等电压(200 —300 殊的衬度传递函数，沿用光学显微镜对点分辨率的 kV)透射电镜物镜的球差矫正研究取得了重 定义，即能分辨的两个最小细节间的距离，已不能完 大的实质性进展，当球差系数为零时会聚角对空间 全表示场发射枪透射电镜的分辨本领。为此，场发 相干性的影响大大减小甚至被消除了。因此，色差 射枪透射电镜除继续采用“点分辨率”外，又引入了 就成了限制电镜信息分辨极限的最主要因素。 “信息分辨极限”的概念1。这里，赋予“点分辨率” 由于电磁透镜对不同能量的电子束聚焦能力不 同，具有能量分散的电子束在高斯成像面上不能点